生産終了装置情報
生産を終了した装置の情報を掲載しています。
ディスコでは当該製番出荷後から7年間（84ヶ月）を部品供給保証期間としています。※
ただし、一部の部品（詳細）でこの期間が短縮される場合があります。
部品供給保証期間を超えた装置でも、可能な限り部品供給の努力をしてまいりますが、 環境の変化、状況により供給できなくなる場合もございます。
部品供給保証期間が短縮される場合がある部品リスト
| 対象の部品 |
|---|
| レーザ発振器の一部 |
| SDエンジンの一部 |
※ 改訂日：2023/7/27
詳細は最寄りのアフターサービス担当までご連絡ください。
旧機種の取扱説明書のデータを販売しています。
ご購入いただいた当社製中古半導体製造装置のメンテナンスにお役立てください。
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| 機種名 | 生産終了年月 | 部品供給状況 |
|---|---|---|
| DAC-2SP/6 | 1984/11 | 終了 |
| DAC-2SP/65 | 1988/11 | 終了 |
| DAC-2SP/86 | 1993/09 | 一部供給終了 |
| DAC-2SPH | 1992/09 | 終了 |
| DAC350 | 1997/10 | 一部供給終了 |
| DAC351 | 2005/03 | 一部供給終了 |
| DAC-4SP/126 | 1991/03 | 終了 |
| DAC-4SPI/126 | 1991/03 | 終了 |
| DAC550 | 1997/06 | 一部供給終了 |
| DAC551 | 1998/04 | 一部供給終了 |
| DAC552 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DAC750 | 1994/10 | 終了 |
| DAC770 | 1994/02 | 終了 |
| DAD-2H | 1978/01 | 終了 |
| DAD-2H/5 | 1984/10 | 終了 |
| DAD-2H/5LI | 1983/02 | 終了 |
| DAD-2H/6 | 1990/02 | 終了 |
| DAD-2H/6M | 1993/09 | 終了 |
| DAD-2H/6T | 1994/02 | 一部供給終了 |
| DAD-2H/6TM | 1993/09 | 一部供給終了 |
| DAD-2H/8 | 1988/03 | 終了 |
| DAD-2SP/6T | 1994/03 | 一部供給終了 |
| DAD-3D/8 | 1994/03 | 一部供給終了 |
| DAD-3S/8 | 1994/11 | 一部供給終了 |
| DAD320 | 1997/07 | 一部供給終了 |
| DAD321 | 2010/12 | 一部供給終了 |
| DAD322 | 2016/10 | 継続中 |
| DAD3220 | 2021/10 | 継続中 |
| DAD323 | 2021/10 | 継続中 |
| DAD3230 | 2021/10 | 継続中 |
| DAD3240 | 2021/10 | 継続中 |
| DAD340 | 1997/04 | 一部供給終了 |
| DAD341 | 2004/03 | 一部供給終了 |
| DAD360 | 1997/12 | 一部供給終了 |
| DAD361 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DAD3650 | 2022/03 | 継続中 |
| DAD3660 | 2022/03 | 継続中 |
| DAD380 | 1996/11 | 一部供給終了 |
| DAD381 | 2006/03 | 一部供給終了 |
| DAD520 | 1995/07 | 一部供給終了 |
| DAD521 | 1997/12 | 一部供給終了 |
| DAD522 | 2005/12 | 一部供給終了 |
| DAD560 | 1997/07 | 一部供給終了 |
| DAD561 | 1998/02 | 一部供給終了 |
| DAD562 | 2005/07 | 一部供給終了 |
| DAD640 | 2000/05 | 一部供給終了 |
| DAD641 | 2005/03 | 一部供給終了 |
| DAD650 | 1997/03 | 一部供給終了 |
| DAD651 | 2005/06 | 一部供給終了 |
| DAD680 | 1997/05 | 一部供給終了 |
| DAD681 | 2005/08 | 一部供給終了 |
| DAD685 | 2005/12 | 一部供給終了 |
| DAD690 | 1998/09 | 一部供給終了 |
| DAD691 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DAD695 | 2005/12 | 一部供給終了 |
| DFD-2D/8 | 1997/06 | 一部供給終了 |
| DFD-2HS | 1991/03 | 終了 |
| DFD-2HST | 1991/03 | 終了 |
| DFD-2HSTI | 1991/03 | 終了 |
| DFD-2S/8 | 1993/09 | 一部供給終了 |
| DFD-3D/8 | 1994/06 | 一部供給終了 |
| DFD-3S/8 | 1993/03 | 一部供給終了 |
| DFD620 | 1997/10 | 一部供給終了 |
| DFD6360 | 2005/04 | 一部供給終了 |
| DFD640 | 2000/07 | 一部供給終了 |
| DFD641 | 2005/03 | 一部供給終了 |
| DFD650 | 1997/03 | 一部供給終了 |
| DFD651 | 2005/06 | 一部供給終了 |
| DFD660 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DFD670 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DFD680 | 1999/02 | 一部供給終了 |
| DFD681 | 2005/08 | 一部供給終了 |
| DFD690 | 1997/07 | 一部供給終了 |
| DFD691 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| 機種名 | 生産終了年月 | 部品供給状況 |
|---|---|---|
| DFG-81IF/8 | 1993/11 | 一部供給終了 |
| DFG-82IF/8 | 1995/06 | 一部供給終了 |
| DFG-83H/6 | 1994/04 | 一部供給終了 |
| DFG830 | 2007/05 | 一部供給終了 |
| DFG840 | 2000/08 | 一部供給終了 |
| DFG841 | 2004/09 | 一部供給終了 |
| DFG850 | 2005/03 | 一部供給終了 |
| DFG860 | 2006/03 | 一部供給終了 |
| DFG870 | 2002/08 | 一部供給終了 |
| DFG871 | 2005/09 | 一部供給終了 |
| DGP8760 | 2011/03 | 一部供給終了 |
| DGP8761HC(SC) | 2018/11 | 継続中 |
| 機種名 | 生産終了年月 | 部品供給状況 |
|---|---|---|
| DAE220 | 1996/06 | 終了 |
| DCS140 | 1999/03 | 一部供給終了 |
| DCS141 | 2008/03 | 一部供給終了 |
| DCS-6 | 1994/07 | 終了 |
| DFM-A150 | 1991/06 | 終了 |
| DFM-A150DI | 1994/07 | 終了 |
| DFM-M150 | 2000/03 | 一部供給終了 |
| DFM-M200 | 2000/04 | 一部供給終了 |
| DFM-S150 | 2000/03 | 一部供給終了 |
| DFM2700 | 2015/12 | 一部供給終了 |
| DFT240 | 2003/01 | 一部供給終了 |
| DMM080 | 1998/03 | 終了 |
| DMU210 | 2001/06 | 一部供給終了 |
| DPM2190 | 2019/03 | 継続中 |
| DSM060 | 2000/07 | 一部供給終了 |
| DSM080 | 1999/06 | 一部供給終了 |
| DTU150 | 2000/03 | 一部供給終了 |
| DTU151 | 2002/09 | 一部供給終了 |
| DTU1530 | 2004/12 | 一部供給終了 |
| DTU1531 | 2020/03 | 継続中 |
| DTU160 | 1998/10 | 終了 |
| DTU170 | 2001/09 | 一部供給終了 |
| DWR1720 | 2012/07 | 継続中 |
| DWR1721 | 2016/08 | 継続中 |
| DWT-13R | 1992/03 | 終了 |
| DWT-13R2 | 2004/03 | 一部供給終了 |
| DWT-19DI | 1995/03 | 終了 |
| DWT-19E | 2003/03 | 一部供給終了 |