솔루션
드라이 에칭(Dry Etching)을 DBG프로세스와 조합하면, 블레이드에 의한 칩 측면 데미지 제거 및 일반 그라인더와의 병용 하는 것 보다 더욱 칩 강도를 향상 시킬 수
있습니다.
또한, 이 프로세스에서는 다이싱(칩 분할) 후에 스트레스 릴리프를 하여, 그 후의 다이싱에 의한 기계적인 데미지가 발생하지 않습니다.
그 결과, IC카드 등의 패키징 후에도 외부에서 응력이 걸리는 디바이스 등의 신뢰성을 높일 수 있습니다.
대응제품
https://www.disco.co.jp/kr/products/index.html?id=polishing
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