CO2Injectorダイシングソー専用比抵抗値調整ユニット
ダイシングソーとのリンクで高加工品質を実現
ワークの帯電を低減
CO2インジェクタは、純水の比抵抗値を下げるために、ダイシングソー切削水中に炭酸ガスを溶解して設定した比抵抗値に調節する純水比抵抗値調整ユニットです。カット中に発生するワーク帯電を低減することにより、パーティクル付着およびデバイスの静電破壊を抑制します。
比抵抗値の安定制御
純水流量の変動が大きいダイシングソーの専用ユニットとして開発しました。比抵抗値センサーによるフィードバック制御と、炭酸ガス濃度を2段階に分けて調節するマルチステージミキシング方式により、高い精度で比抵抗値を調整できます。また、比抵抗値のばらつきが特に大きくなる切削水のON/OFF時においても、安定性を高い次元で維持できるため、切削水の常時排水が不要です。
ダイシングソーとのリンク機能
ダイシングソー側のオペレーションパネルから各種設定をおこなうことが可能で、カット中の切削水の流量と共に比抵抗値をリアルタイムでグラフ表示。また、比抵抗値のばらつき許容値を任意に設定可能とし、アラーム警告またはカット作業を停止する事で、生産歩留まりの悪化を回避することが可能です。
比抵抗値のロギング機能
ダイシングソーのフルオート開始時/枚葉毎のカット終了時／エラー発生時の比抵抗値をロギングできるため、プロセス管理に有効です。
コンパクトサイズ
DFD6240、DFD6340/6341、DFD6361/6362/6363、DFD6450の装置下部に内蔵可能です。
仕様
| 仕様 | 単位 | 標準仕様 | 低比抵抗仕様 |
|---|---|---|---|
| 流量範囲 | L/min | 3 ～ 15 | |
| 比抵抗値設定範囲 | MΩ・cm | 0.5 ～ 1.0 | 0.2 ～ 0.6 |
| 比抵抗値変動幅※ | 目標比抵抗値の±10％以内 | 目標比抵抗値の±0.06 MΩ・cm以内 | |
| 超純水供給圧力 | MPa | 0.2 ～ 0.5 | |
| 超純水供給温度 | Deg C | 20 ～ 25 | |
| CO2ガス消費流量 | g/h | 別表参照 | |
| 装置寸法 (W x D x H) | mm | 328 × 178 × 365 | |
| 乾燥時質量 | kg | 約13 | |
※ 通水流量は3 ～ 15 L/minの範囲内で一定流量、供給水温20 ～ 25 ℃の場合
本装置にはCO2ガスボンベやボンベスタンドは含みません
別表 CO2ガス消費流量（g/h）
標準仕様
| 1.0 MΩ･cm 設定時 | 0.7 MΩ･cm 設定時 | 0.5 MΩ･cm 設定時 | |
|---|---|---|---|
| 6 L/min | 1.20 | 1.38 | 1.92 |
| 9 L/min | 1.38 | 1.65 | 2.46 |
| 15 L/min | 1.74 | 2.19 | 3.54 |
低比抵抗仕様
| 0.6 MΩ･cm 設定時 | 0.4 MΩ･cm 設定時 | 0.2 MΩ･cm 設定時 | |
|---|---|---|---|
| 6 L/min | 1.59 | 2.46 | 6.82 |
| 9 L/min | 1.97 | 3.26 | 9.81 |
| 15 L/min | 2.72 | 4.87 | 15.78 |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
CO2Injectorダイシングソー専用比抵抗値調整ユニット
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