独自に開発した水と研磨材をプリミックスして吐出する技術と、ダイシングソーなどの精密加工装置で培ったワークのアライメント技術により、高品質で高精度な非熱曲線切断を実現しました。また、ウォータジェットソーとしては、世界で初めてクリーンルームに対応しました。
0.3 mmの狭カーフ幅をウォータジェットソーで実現したことにより、内側のコーナーをR0.3 mmで切断。狭い部分の加工に適しています。
プリミックス方式により、有効な研磨材を回収して乾燥させずにリサイクルをすることができます。これにより研磨材コストの低減が期待できます。
自動工具補正機能により、カーフ幅の測定値に従って入力データを補正し、ワークを切断できます。
Low-K膜などの絶縁層厚100 µm以下の多層基板の切断にも対応。バリ・スミアリングが小さいため歩留まり率が向上し、切断工程の低コスト化に貢献します。
チタン、ステンレスなどの加工熱による切断不具合が生じやすい材料でも、焼けなどの発生無く切断できます。
切断速度 | 切断品質 | |
加工性 優 | 樹脂材料全般、金属材料、及びそれらの積層材料 | 樹脂材料全般、金属材料全般、及びそれらの積層材料 |
加工性 難 | アルミナより硬い材料 | Siなどの硬脆材料 |
※ 実際の加工性はワークによって異なります。
※ 切断面の垂直度、および面粗さが重要なワークには適用できない場合があります。
※ 完全切断しない加工(溝加工、ザグリ加工など)や、極端に硬い材料は加工できません。
※ 詳しくは弊社営業担当者にお問い合わせください。
仕様 | 単位 | ||
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最大ワークサイズ | mm | 220 × 190 × 5 | |
X軸 | 切削可能範囲 | mm | 220 |
位置決め精度 | mm | 0.005以内/425 | |
送り速度入力範囲 | mm/s | 0.1 ~ 30 | |
Y軸 | 切削可能範囲 | mm | 190 |
位置決め精度 | mm | 0.005以内/190 | |
送り速度入力範囲 | mm | 0.1 ~ 30 | |
Z軸 | 最大ストローク | mm | 103.5 |
繰り返し精度 | mm | 0.005 | |
高圧ポンプ | 制御圧力 | MPa | 67 |
ジェット連続吐出時間 | min | 5 | |
装置寸法(W × D × H) | mm | 1,000 × 1,830 × 1,800 | |
装置質量 | kg | 約1,300 | |
外部ユニット寸法(W × D × H) | mm | 490 × 1,000 × 1,600 | |
外部ユニット質量 | kg | 約145 |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。