다이싱시에 웨이퍼를 고정하는 프레임입니다.
프레임 사이즈 | 워이퍼 사이즈 | 프레임 형식 | DISCO Parts No. | 프레임 사이즈(mm) | 특징 | 비고 | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
최대 외경 | 최소 외경 | 내경 | ||||||
Φ5 인치 | Φ4 인치 | DTF2-5-1 | MEDFNB29 | 168.2 | - | 146 | 수지제 | 각형 |
Φ5 인치 | DTF2-5 | MDTFR125-01 | 195 | 190 | 165 | 스테인리스제 | 원형 | |
Φ6 인치 | DTF2-6 | MDTFR125-02 | 214 | 195 | 175 | 스테인리스제 | 표준타입 | |
Φ6 인치 | DTF2-6-1 | MDTFR150-03 | 228 | 212 | 194 | 스테인리스제 | 표준타입 | |
Φ8 인치 | Φ8 인치 | DTF2-8-1 | MDTFR200-04 | 296 | 276 | 250 | 스테인리스제 | 표준타입 |
215x132 | DTFS215-01 | MDTFS215-01 | 296 | 276 | - | 스테인리스제 | 각형C/T용 | |
Φ12 인치 | Φ12 인치 | DTF2-12 | MDTFR300-05 | 400 | 380 | 350 | 스테인리스제 | 두께:1.5 mm |
DTF2-12-1 | MDTFR300-06 | 400 | 380 | 350 | 스테인리스제 | 두께:1.2 mm | ||
250x250 | DTFS250-02 | MDTFS250-02 | 400 | 380 | - | 스테인리스제 | 두께:1.5 mm |
※품번(부품번호) 등 자세한 내용에 대해서는 해당 서비스부서로 문의해
주십시오.
※발주는 1개 단위부터 가능합니다.