DCS1441Automatic Cleaning System
经切割机加工后的晶圆清洗和干燥
强化洗净能力的半自动清洗设备
DCS1441是切割机切割后加工物的清洗/干燥的最佳设备。通过最大排放压力为11.8Mpa的高压清洗以及使用者可自行设定清洗程序（可任意指定清洗臂旋转速度及清洗工作台转速），可适用于各种加工物的清洗。此外，还可搭载流水清洗，水气二流体清洗，高洁净水气二流体清洗等选配功能。
适用于多种加工物
Φ3～8 英寸用胶膜框架，通过选配，最大可对应250× 250 mm的加工物。
操作简便
可在液晶触控面板上简单地设定清洗程序。搭载了仅需要设定加工物尺寸，清洗台转数，清洗时间，就可进行清洗的简单模式。
减少占地面积
缩小设备宽度的省空间设计
水气二流体清洗（选配规格）
通过采用独自开发的水气二流体清洗喷嘴，实现良好的清洗效果。在高速气流下使纯水呈微粒化水珠，经由喷射有效地去除切削碎屑。此外，还可搭载清洗效果更好的高洁净水气二流体清洗功能
技术规格
| Specification | Unit | |
|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch |
| Max. frame size | - | 2-8-1 |
| Table rotation speed | min-1 | 100 ～ 3,000 |
| Cleaning/drying time setting | sec | 0 ～ 999 |
| Cleaning nozzle speed | °/sec | 1 ～ 37.5 |
| Cleaning range | mm | Φ355 (up to 250 x 250 mm square) |
| Cleaning pressure range | Mpa | 2.3 ～ 11.8 |
| Equipment dimensions (W x D x H) | mm | 400 x 600 x 1,380 |
| Dry mass | kg | Approx. 120 |
※为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※使用时，请先确认标准规格书。