DTU1550是在一定的溫度和合適的壓力下,穩定地向切割機、研磨機提供主軸冷卻水及切削水的恆溫水供應裝置。透過各部分設計的最佳化,將切削水流量變動時的溫度變動幅度控制在1℃以下。將切割機或研磨機的主軸、工作台等加工點周圍的熱變化抑制在最小限度,提高了加工精度。
即使工場基礎設施的供應水壓不足,也能將壓力上升到裝置(切割機、研磨機)所需的壓力。
實現冷卻・水切割水大容量化和提高冷卻能力。 進一步的提高加工穩定性。還能對應傳統恆溫供水設備無法處理的新世代晶圓。
通過改善供水流量和壓力,實現了下廠(樓下)通信。例如,立體空間的運用放置無塵室設備(切割機,研磨機)在二樓,一樓放置DTU1550。
Specification | Unit | Spindle coolant | Grinding water |
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Range required to guarantee accuracy | ℃ | 20 ~ 25 | 20 ~ 27※1 |
Temperature accuracy | ℃ | Within 1 | Within 1 |
Cooling efficiency | kW | 3.0 | 6.2 |
Heating efficiency | kW | - | 12.5 |
Flow rate | L/min | 18 | 30 |
Circulation method | - | Circulation type | Flush type |
Equipment dimensions (W×D×H) | mm | 450 × 1,090 × 1,680 | |
Equipment weight | kg | 310 (During drying) |
*1: Entering water temperature of -6ºC to +3ºC (at 30 L/min)
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※使用時,請先確認標准規格書。