切割機為使用刀片,對矽、玻璃、陶瓷等材料進行高精度切割的設備。
雷射切割機為運用雷射光的特質,實現高速、精密且高品質加工的設備。依加工方式不同,分為燒蝕及隱形切割加工兩大類。
研磨機為藉由切削的加工方式,對被加工物進行薄化、平坦化。抛光機藉由研磨的加工,進行應力釋放、鏡面般效果的設備。
鉋平機為使用鑽石刀頭將被加工物進行高精度平坦化的設備適用於銅、銲料等的延性材料或樹脂等材料的加工。
晶粒擴片機為應用於分割薄晶粒堆層製程不可或缺的DAF(Die Attach Film),及雷射隱形切割後將工作物進行高品質分割的設備。
多功能晶片框架黏貼機為整合了表面保護膠膜的UV照射、DAF貼合(Die Attach Film)、鐵框貼合、剝離表面保護膠膜的一連動作的多功能設備
水刀切割機為使用加壓水與從噴嘴吐出的研磨材料對被加工物進行切斷的設備。適用於曲線加工或不適合受熱的材料。
為實現更高精度且安定的加工品質,為您介紹可與切割機與研磨機併用的周邊機台設備。
切割刀片為安裝在切割機上,對矽晶圓及其他多種材料的工作物進行切割、開槽等加工之產品。
研磨輪為安裝在研磨機上,對矽晶片及其他多種材料的被加工物進行薄化及平坦化之加工的產品。
DP-F05 Series
乾式抛光磨輪為安裝在拋光機上,可去除背面研磨加工後,殘留的細微研磨痕、釋放加工應力,可提升晶片強度的產品。
在使用可提高加工品質的切削水用添加劑、精密加工裝置的前提下,跟您介紹各種相關產品 (各種晶片盒、鐵框等)。
Dicing Before Grinding
以切割刀於晶圓表面切出溝槽,再透過背部磨薄的製程,使晶圓薄化及晶粒分割能同時進行之製程。
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Stealth Dicing Before Grinding
透過隱形切割在晶圓內部形成變質層後,經背部磨薄及膠膜擴展而生產出抗折度高的薄型晶粒之製程
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利用LSI的層間絕緣膜,對於含有機械強度較低的Low-k材料之晶圓進行切割之製程
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利用鑽石頭,對於金屬或樹脂等高延展性材料進行切削平坦化之製程
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於一般鑽石刀切割中引進超音波震動技術,提高加工性能的切割製程
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利用雷射光聚焦於晶圓內部形成變質層,再經膠膜擴展後分割晶片的製程
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保留晶圓外圍邊緣,只對內部做背側研磨薄化,在不使用任何輔助材料的情況下提升晶圓的傳送安全性
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於SiC晶柱上方照射雷射光,利用分離層的形成達成晶圓切片之製程
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