周邊機台設備
Ultrasonic-wave Dicing Unit
超音波切割機構
使用專用刀片，可進行超音波援用加工的機構。
DWR1722
切割機用純水循環裝置
同時擁有製造純水、調節水溫、過濾、處理廢液功能的純水循環裝置。
DTU1550
恆溫水供應設備
矽晶片、電子元件的加工(切割水供應方式: 循環式)
DTU162
恆溫水供應設備
矽晶片、電子元件的加工(切割水供應方式: 循環式)
CO2 Injector
切割機專用純水電阻抗調整裝置
抑制因切割中使用切割水(純水)而導致的污染微粒粘附以及由靜電造成的不良影響。
DCS1440
全自動晶片清洗設備
對切割後的矽晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物進行清洗。
DCS1441
全自動晶片清洗設備
對切割後的矽晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物進行清洗。
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全自動晶片清洗設備
對切割後的矽晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物進行清洗。
CC Filter Unit
切割機用超小型過濾系統
透過獨立的過濾器，降低了過濾處理的運行成本
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在切割加工時，用於固定加工物的框架。
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Precutting Tools