UltraPoligrindGrinding Wheels
超微細ダイヤモンドを使用し、高い抗折強度とゲッタリング性の維持を両立
加工対象：シリコンウェーハ、他
UltraPoligrindは、超微細ダイヤモンド砥粒を採用することでPoligrindよりさらに低ダメージの研削が可能、高い抗折強度を実現します。また、ストレスリリーフをおこなうことで低下が予想されるゲッタリング性の維持が可能な仕上げ研削ホイールです。ケミカルフリーの通常研削加工のため環境負荷が低く、容易なオペレーションで薄化研削が実現できます。
- ウェーハへのダメージが低く、高い抗折強度を実現
- 通常研削と同等のゲッタリング性を維持
実験データ
ウェーハダメージTEM比較
UltraPoligrindで研削したウェーハのダメージ層は、Poligrindホイールと比較し大幅に抑制されていることが分かります。
抗折強度比較（球抗折）
ゲッタリング効果
ミラーウェーハのサンプルは強制汚染後に反対面に析出されるCu量が1.0E11以上になるのに対し、UltraPoligrindの研削ウェーハは反対面に析出されるCu量が検出限界値以下であることから、UltraPoligrind面にゲッタリング効果があることがわかります。
Cu強制汚染前後のTXRF測定データ（Φ8インチミラーウェーハ）
ゲッタリング効果を定量的に測定するために、Cu強制汚染させたサンプルを350 ℃で3時間加熱した後、TXRF（全反射蛍光X線分析）で分析しました。UltraPoligrindの研削ウェーハを例にとると、研削面にCu強制汚染させCuを拡散させた後、反対面（ミラー面）に析出されたCu量をTXRFで分析します。
※ 0.5E10 atoms/cm2 以下は検出限界です。
仕様
UltraPoligrindをご使用いただくにあたって
より良い加工結果を得るために、加工条件の最適化が必要となります。当社のアプリケーションエンジニアがワークや要求精度などに合わせてご提案させていただきます。
UltraPoligrindGrinding Wheels
お問い合わせ
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
ご注文に際して
タイプ名・各寸法及び数量をお知らせください。また、新規ご注文の場合は弊社営業担当員が選定のお手伝いをさせていただきます。研削材料・寸法・形状・使用機械（装置）その他諸条件を詳しくお知らせください。
※仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがありますので、ご確認の上ご発注くださいますようお願い申し上げます。
安全にご使用いただくために
ブレード、ホイール（以下、精密加工ツール）の破損による事故やケガを未然に防止するために以下の事項を必ずお守りください。
- 安全カバー（ノズルケース、カバー）を使用してください。
- 制限回転数表示のある精密加工ツールは指定の回転数を超えて使用しないでください。
- 精密加工ツールを装着する際は機械（装置）の取扱説明書に従って正しく装着してください。
- 精密加工ツールを落としたり、ぶつけたりしないでください。
- 使用する際には必ず毎回精密加工ツールを確認して、欠けやその他破損がある場合は使用を中止してください。
- ご使用の機械（装置）の取扱説明書をよく読んでからご使用ください。
- 改造された機械（装置）は使用しないでください。
- 機械（装置）指定サイズに合わない精密加工ツールは使用しないでください。
- 切断・研削以外の目的には使用しないでください。
- 湿式切断の精密加工ツールは冷却液をご使用ください。