DFL7160Fully Automatic Laser Saw
DAFカット/フルカットなど多彩なアプリケーションに対応
- Φ300 mmウェーハ対応
- アブレーション
- DFL7160はパルスレーザによる非熱加工を特徴としたΦ300 mmウェーハ対応のフルオートレーザソーです。
- GaAsのフルカットやDBG後のDAFカットなどで数多くの採用実績があります。
- HogoMax※を塗布 / 洗浄する機構を搭載することで、レーザ加工屑によるウェーハ汚染を防止します。
※ レーザ加工屑がウェーハ表面へ付着することを防ぐ水溶性保護膜
ショートパルスレーザ採用
熱による加工ひずみや変形の少ない高品位な切断を実現します。
多彩なアプリケーションに対応
Low-kグルービングやストリート上のTEG除去、Si・化合物半導体のフルカットも対応可能です。
カーフチェック機能
レーザカット位置を自動で確認・補正する機能を標準搭載しているため、安定した加工が可能です。
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 加工方式 | - | アブレーション | |
| 最大ワークサイズ | mm | Φ300 | |
| X軸 (チャックテーブル) |
カット可能範囲 | mm | 310 |
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 0.1 ～ 600 | |
| Y軸 (チャックテーブル) |
切削可能範囲 | mm | 310 |
| インデックスステップ | mm | 0.0001 | |
| 位置決め精度 | mm | 0.003以内/310 (単一誤差)0.002以内/5 |
|
| Z軸 | 移動分解能 | mm | 0.00005 |
| 繰り返し精度 | mm | 0.002 | |
| θ軸 (チャックテーブル) |
最大回転角度 | deg | 380 |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約1,750 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| 加工メソッド |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |
| DFL7161 |
| フルオートマチック |
| アブレーション |
| 1,560 × 1,550 × 1,800 |
| 2,300 |
DFL7160Fully Automatic Laser Saw
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