DFL7161Fully Automatic Laser Saw
高品質と高スループットを両立するレーザグルービングのスタンダードモデル
- Φ300 mmウェーハ対応
- アブレーション
- DFL7161は多くの採用実績を持つΦ300 mmウェーハ対応フルオートレーザソーです。
- HogoMax※塗布から、ダイシング、洗浄まで一連の工程を自動でおこないます。
- HogoMax塗布部と洗浄部を独立配置し、待機時間を大幅に短縮しました。
※ レーザ加工屑がウェーハ表面へ付着することを防ぐ水溶性保護膜
※エレベータカバーは特殊仕様です
多彩なアプリケーションに対応
Low-kグルービングやストリート上のTEG除去、Si・化合物半導体のフルカットも対応可能です。
各軸の高速化
搬送と加工軸の高性能化で最高速度が上がり、生産性向上を実現しています。
カーフチェック機能
レーザカット位置を自動で確認・補正する機能を標準搭載しているため、安定した加工が可能です。
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 加工方式 | - | アブレーション | |
| 最大ワークサイズ | mm | Φ300 | |
| X軸 (チャックテーブル) |
カット可能範囲 | mm | 310 |
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 1 ～ 1,000 | |
| Y軸 (チャックテーブル) |
切削可能範囲 | mm | 310 |
| インデックスステップ | mm | 0.0001 | |
| 位置決め精度 | mm | 0.003以内/310 (単一誤差)0.002以内/5 |
|
| Z軸 | 移動分解能 | mm | 0.000015 |
| 繰り返し精度 | mm | 0.002 | |
| θ軸 (チャックテーブル) |
最大回転角度 | deg | 330(標準) 380(オプション) |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,560 × 1,550 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約2,300 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| 加工メソッド |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |
| DFL7160 |
| フルオートマチック |
| アブレーション |
| 1,200 × 1,550 × 1,800 |
| 1,750 |
DFL7161Fully Automatic Laser Saw
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