StayClean-RWater-soluble Additive
腐食対策と節水の両立
純水による腐食を低減
ボンディングパッドなどウェーハ上の金属表面に着脱を繰り返すStayClean-Rの有効成分が、腐食の原因となる純水との接触を緩和します。
純水リサイクル装置と併用可能
StayClean-Rでは有効成分の分子サイズをより小さくイオン交換樹脂に対して最適化しているため、純水製造に必要なイオン交換・除去が可能です。
これによりDWRシリーズへの対応や節水と腐食対策の両立を実現します。
ボンディング不良の低減
最大10,000倍希釈でも高い防食性能を発揮し、長時間加工の際の腐食を低コストで抑制することができます。
また、洗浄性能に優れており、ウェーハへの残渣の心配はありません。
-
純水
腐食あり -
純水+StayClean-R
腐食なし
イオン交換樹脂への最適化
- 有効成分の分子サイズを調整
- イオン交換可能
StayClean-Rの有効成分は他の分子同様、イオン交換樹脂に正常に吸着されます
推奨システム構成
従来の腐食抑制防止剤と比べて環境負荷が非常に低く、排水処理コストを抑えることができます。
さらに純水リサイクル装置・ＤＷＲシリーズと組み合わせて使用することで、排水ゼロでの運用が可能となります。
なお、本システムでは水だけが循環し、廃水に含まれるStayClean-R成分は循環しません。
仕様
| 仕様 | 単位 | ステイクリン-R | ステイクリンインジェクタ |
|---|---|---|---|
| 原液外観 | - | 無色～淡黄色透明液状 | |
| 主成分 | - | 水溶性ポリマー | |
| pH（原液） | pH | 5.1 ± 0.3 | |
| 密度（15℃） | g/cm3 | 1.01 ± 0.02 | |
| 残留性/分解性 | mg/L | COD 21(JIS K0102-17) | |
| (1000倍希釈時) | mg/L | BOD 7.2(JIS K0102-21) | |
| 推奨希釈率 | 倍 | 1,000 - 10,000(0.1 - 0.01%) | |
| 電源、電圧 | V | AC90-230 単相 50/60 Hz | |
| 供給水温 | deg C | 20 - 25 | |
| 供給水圧力 | MPa | 0.2 - 0.5 | |
| 処理流量 | L/min | 2 - 20 | |
| 添加剤、注入比率 | % | 0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm) | |
| 寸法（W × D × H） | mm | インジェクタ 200 × 300 × 500 但し突起物除く ボトルストッカ 357 × 392 × 440 但し突起物除く |
|
| 質量 | kg | インジェクタ 約22(乾燥時) ボトルストッカ 約10(乾燥時) |
お使いになる前の注意
- 安全データシート（SDS）により詳しい注意等が記載されていますので、ステイクリン-Rをご使用される前には必ずご一読ください。
- 用途以外には使用しないでください。
ご使用上の注意
- 目や皮膚に触れないように注意し、取り扱う際には保護眼鏡、保護手袋等の適切な保護具を着用してください。
- 他の薬剤（特に強酸・強アルカリ性の薬剤）との併用は避けてください。
保管上の注意
- 直射日光を避けて、冷暗所で保管してください。ただし、凍結庫に入れないでください。
- きちんと密閉して保管してください。
- 品質保証期間は密閉状態で製造日より1年間です。
StayClean-RWater-soluble Additive
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