StayClean-FWater-soluble Additive
ダイシング中のパッド腐食を防止
パッドの腐食を防止
大口径ウェーハや小チップなどのカット時間が長いワークでは、切削水がワーク上に長時間触れるため、パッドが腐食する場合があります。ステイクリン-Fを添加することによりワーク表面に極薄いバリア層を形成しパッドの腐食を防止します。
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純水のみ
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ステイクリン-F使用時
パーティクル付着防止
ダイシング後のスピンナ洗浄では除去しきれないパーティクルを、ステイクリン-Fを添加することにより、ワーク表面から引き離し付着を防止します。
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純水のみ
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ステイクリン-F使用時
低環境負荷・低ランニングコスト
ステイクリン-FはRoHS対象物質及びPFOSなどの規制化学物質を一切含まず、通常のダイシングと同様の環境※でお使いいただけます。また1000倍以上、特に腐食防止の場合は10000倍の希釈濃度でも使用できるため、低ランニングコストに貢献します。
※ 循環でご使用される場合は別途ご相談ください。
メカニズム
- ステイクリン-Fの成分がワーク上にバリア層を形成し、パッドの腐食やパーティクルの付着を防止します。
- スピンナ洗浄工程においてステイクリン-Fの成分は除去されます。
未使用時と同等の加工結果を維持
ステイクリン-Fを添加しても、通常の純水使用時と同等の加工結果です。
| Workpiece | Si wafer |
| Blade | NBC-ZH |
| Spindle rpm | 40,000 (min-1) |
| Feed speed | 60 mm/s |
ステイクリンインジェクタ
ステイクリン専用に開発されたステイクリンインジェクタにより、1000倍以上の低い希釈濃度でも安定した供給が可能です。
仕様
| 仕様 | 単位 | ステイクリン-F | ステイクリンインジェクタ |
|---|---|---|---|
| 原液外観 | - | 無色～淡黄色透明液状 | |
| 主成分 | - | 水溶性高分子ポリマー | |
| pH（原液） | pH | 4.7 ± 0.5 | |
| 密度（15℃） | g/cm3 | 1.04 ± 0.02 | |
| 残留性/分解性 | mg/L | COD 32(JIS K0102-17) | |
| (1000倍希釈時) | mg/L | BOD 2.5(JIS K0102-21) | |
| 推奨希釈率 | 倍 | 1,000 - 10,000(0.1 - 0.01%) | |
| 電源、電圧 | V | AC90-230 単相 50/60 Hz | |
| 供給水温 | deg C | 20 - 25 | |
| 供給水圧力 | MPa | 0.2 - 0.5 | |
| 処理流量 | L/min | 2 - 20 | |
| 添加剤、注入比率 | % | 0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm) | |
| 寸法（W × D × H） | mm | インジェクタ 200 × 300 × 500 但し突起物除く ボトルストッカ 357 × 392 × 440 但し突起物除く |
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| 質量 | kg | インジェクタ 約22(乾燥時) ボトルストッカ 約10(乾燥時) |
お使いになる前の注意
- 安全データシート（SDS）により詳しい注意等が記載されていますので、ステイクリン-Fをご使用される前には必ずご一読ください。
- 用途以外には使用しないでください。
ご使用上の注意
- 目や皮膚に触れないように注意し、取り扱う際には保護眼鏡、保護手袋等の適切な保護具を着用してください。
- 他の薬剤（特に強酸・強アルカリ性の薬剤）との併用は避けてください。
保管上の注意
- 直射日光を避けて、冷暗所で保管してください。ただし、凍結庫に入れないでください。
- きちんと密閉して保管してください。
- 品質保証期間は密閉状態で製造日より1年間です。
StayClean-FWater-soluble Additive
お問い合わせ
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