StayClean-RWater-soluble Additive

兼顧節水與抑制腐蝕

StayClean-R的有效成分會不斷的與焊接點（Bonding pad）等晶圓上的金屬表面接觸，可減輕與純水接觸而引起的腐蝕。

StayClean-R有效成分的分子尺寸更小，更適用於離子交換樹脂，使纯水制造中必不可少的离子交换、去除成为可能。
因此StayClean-R既能對應DWR系列又同時兼顧了節水與抑制腐蝕。

即使在稀釋10,000倍的低濃度下仍然能夠有效地發揮防腐蝕性，可以實現用低成本抑制長時間加工時所產生的腐蝕。
另外，StayClean-R成分透過切割後的離心清洗便可簡單除去，不必擔心在晶圓表面的殘留。

與原有的抑制附腐蝕用添加劑相比，環境負荷較小，能夠降低廢水處理成本。
並且，與DWR組合使用，可以實現零排水。

此外，系統中只有水進行循環，排水中含有的StayClean-R成分不進行循環。

Specification	Unit	StayClean-R	StayClean Injector
Solution appearance	-	Transparent colorless and light yellow liquid
Main ingredient	-	Water-solube polymer
pH（undiluted）	pH	5.1 ± 0.3
Density（15℃）	g/cm3	1.01 ± 0.02
Residue/decomposition	mg/L	COD 21(JIS K0102-17)
(when diluted 1000 times)	mg/L	BOD 7.2(JIS K0102-21)
Recommended dilution	times	1,000 - 10,000(0.1 - 0.01%)
Power supply , voltage	V		AC90-230 Single Phase 50/60 Hz
Supply water temperature	deg C		20 - 25
Supply water pressure	MPa		0.2 - 0.5
Process flow rate	L/min		2 - 20
Additive injection rate	%		0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm)
Machine dimensions(W×D×H)	mm		Injector 200 × 300 × 500 excluding projections Bottle stocker 357 × 392 × 440 excluding projections
Machine weight	kg		Injector Approximately.22(Dry mass) Bottle stocker Approximately.10(Dry mass)

注意事項【使用前】

注意事項【使用時】

注意事項【保管時】

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