StayClean301Water-soluble Additive
最も高い腐食防止性能*と、パーティクル対策を両立させた新スタンダードモデル
*当社比ボンディングパッドの腐⾷防⽌
大口径ウェーハや小チップなどカット時間が長い場合、切削水が長時間ワークに触れる影響でパッドが腐食することがあります。 StayClean301を添加してワーク表面に極めて薄いバリア層を形成することで、パッドの腐食やその結果として発生するボンディング不良を防止します。
ハブブレードの腐⾷・先細り防⽌
ボンディングパッドと同様、ハブブレードが長時間切削水に触れていると腐食する場合があります。 ブレードの先細りはカーフ幅の狭化やブレード割れ等の問題に繋がります。StayClean301を添加する事によりブレード表面に極めて薄いバリア層を形成し、ブレードの腐食を防止します。
パーティクル付着の防⽌
純⽔使⽤のダイシングではスピンナ洗浄後でもパーティクル残渣が⾒られますが、StayClean301を添加してダイシングすることにより、ワーク表⾯へのパーティクル付着を防⽌し、スピンナ洗浄後のパーティクル残渣を防⽌します。
メカニズム
- StayClean301の成分がワーク上にバリア層を形成し、パッドの腐食やパーティクルの付着を防止します。
- スピンナ洗浄工程においてStayClean301の成分は除去されます。
ステイクリンインジェクタ
ステイクリン専用に開発されたステイクリンインジェクタにより、1,000倍以上の低い希釈濃度でも安定した供給が可能です。
仕様
| 仕様 | 単位 | ステイクリン301 | ステイクリンインジェクタ |
|---|---|---|---|
| 原液外観 | - | 無色～淡色透明液状 | |
| 主成分 | - | 水溶性高分子ポリマー | |
| pH（原液） | pH | 5.5 - 7 | |
| 密度（25℃） | g/cm3 | 1.00 - 1.05 | |
| 残留性/分解性 | mg/L | COD 31(JIS K1002-17) | |
| (3000倍希釈時) | mg/L | BOD 12(JIS K0102-21) | |
| 推奨希釈率 | 倍 | 1,500 - 5,000(0.06 - 0.02%) | |
| 電源、電圧 | V | AC90-230 単相 50/60 Hz | |
| 供給水温 | deg C | 20 - 25 | |
| 供給水圧力 | MPa | 0.2 - 0.5 | |
| 処理流量 | L/min | 2 - 20 | |
| 添加剤、注入比率 | % | 0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm) | |
| 寸法（W × D × H） | mm | インジェクタ 200 × 300 × 500 但し突起物除く ボトルストッカ 357 × 392 × 440 但し突起物除く |
|
| 質量 | kg | インジェクタ 約22(乾燥時) ボトルストッカ 約10(乾燥時) |
お使いになる前の注意
- 安全データシート（SDS）により詳しい注意等が記載されていますので、StayClean301をご使用される前には必ずご一読ください。
- 用途以外には使用しないでください。
ご使用上の注意
- 目や皮膚に触れないように注意し、取り扱う際には保護眼鏡、保護手袋等の適切な保護具を着用してください。
- 他の薬剤（特に強酸・強アルカリ性の薬剤）との併用は避けてください。
保管上の注意
- 直射日光を避けて、冷暗所で保管してください。ただし、冷凍庫に入れないでください。
- きちんと密閉して保管してください。
- 品質保証期間は未開封状態で製造日より1年間です。
StayClean301Water-soluble Additive
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