DFS8960Surface Planer
Φ300mm対応、フルオート切削平坦化加工装置
- Φ300 mmウェーハ対応
- 2軸2チャックテーブル
- 平坦化
ダイヤモンドバイトによる超精密平坦化技術
金属などの延性材料や樹脂、それらの複合材料を高精度に平坦化し、バンプ等の高さバラツキや表面粗さによる問題を解決します。
加工事例
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仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 対応ワークサイズ | - | Φ300 mm | |
| スピンドル軸数 | - | 2 | |
| チャックテーブル数 | - | 2 | |
| 搬送・洗浄機構 | - | あり | |
| 加工精度 | TTV | µm | 3.0以下 |
| チップ（5 mm角）内のバンプ高さバラツキ | µm | 1.0以下 | |
| 切削面粗さ | µm | Ra 0.02以下 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,400 x 3,312 x 1,870 | |
| 装置質量 | kg | 約5,000 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |
| DAS8920 | DAS8930 | DFS8910 |
| オートマチック | オートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 1 |
| 1 | 1 | 1 |
| 500 × 1,235 × 1,800 | 730 × 1,570 × 1,870 | 1,200 × 2,670 × 1,800 |
| 800 | 1,600 | 2,400 |
DFS8960Surface Planer
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