DFS8960Surface Planer
對應到直徑Φ300mm，全自動的平坦化加工機台
- Φ300 mm
- 2 axes, 2 chuck tables
- Planarization
使用鑽石刀頭的超精密平坦化技術
將金屬等延展性較佳的材料，或樹脂等復合材料進行高精度的平坦化加工，可解決因凸塊高度誤差或表面粗糙度不均而引起的問題。
加工範例
欲了解更多加工事例請參見此
規格
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Supported workpiece size | - | Φ300 mm | |
| Number of spindles | - | 2 | |
| Number of chuck tables | - | 2 | |
| Transport/Cleaning | - | With | |
| Process precision | TTV | µm | Less than 3.0 |
| 5 x 5 mm die bump height variation | µm | Less than 1.0 | |
| surface roughness | µm | Within Ra 0.02 | |
| Equipment dimensions (W × D × H) | mm | 1,400 x 3,312 x 1,870 | |
| Equipment weight | kg | Approx.5,000 | |
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良，本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更，敬請見諒。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |
| DAS8920 | DAS8930 | DFS8910 |
| 自動 | 自動 | 全自動 |
| 1 | 1 | 1 |
| 1 | 1 | 1 |
| 500 × 1,235 × 1,800 | 730 × 1,570 × 1,870 | 1,200 × 2,670 × 1,800 |
| 800 | 1,600 | 2,400 |