DFS8960Surface Planer
适用于Φ300 mm以下的全自动平坦化加工设备
- Φ300 mm
- 2 axes, 2 chuck tables
- Planarization
通过金刚石刨刀实现超精密平坦化技术
将金属等延展性材料或树脂等复合材料进行高精度的平坦化加工，解决因凸块等高度偏差或表面粗糙而引起的问题。
加工事例
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技术规格
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Supported workpiece size | - | Φ300 mm | |
| Number of spindles | - | 2 | |
| Number of chuck tables | - | 2 | |
| Transport/Cleaning | - | With | |
| Process precision | TTV | µm | Less than 3.0 |
| 5 x 5 mm die bump height variation | µm | Less than 1.0 | |
| surface roughness | µm | Within Ra 0.02 | |
| Equipment dimensions (W × D × H) | mm | 1,400 x 3,312 x 1,870 | |
| Equipment weight | kg | Approx.5,000 | |
※为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※使用时，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |
| DAS8920 | DAS8930 | DFS8910 |
| 半自动 | 半自动 | 全自动 |
| 1 | 1 | 1 |
| 1 | 1 | 1 |
| 500 × 1,235 × 1,800 | 730 × 1,570 × 1,870 | 1,200 × 2,670 × 1,800 |
| 800 | 1,600 | 2,400 |