將金屬等延展性較佳的材料,或樹脂等復合材料進行高精度的平坦化加工,可解決因凸塊高度誤差或表面粗糙度不均而引起的問題。
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Specification | Unit | ||
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Supported workpiece size | - | Φ8 inch | |
Number of spindles | - | 1 | |
Number of chuck tables | - | 1 | |
Transport/Cleaning | - | Without | |
Process precision | TTV | µm | Less than 2.0 |
5 x 5 mm die bump height variation | µm | Less than 1.0 | |
surface roughness | µm | Within Ra 0.02 | |
Equipment dimensions (W × D × H) | mm | 500 x 1,250 x 1,780 | |
Equipment weight | kg | Approx.800 |
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