DFG8540Fully Automatic In-Feed Surface Grinder
ウェーハの進化を支えて、より薄く
- Φ200 mmウェーハ対応
- 2軸3チャックテーブル
- 薄化
100 μm以下の薄仕上げ研削を追求
研削、搬送パラメーターの最適化を図り、安定性の高い薄仕上げ研削を可能にしました。
薄仕上げ用プロセスに対応するシステム拡張性
DBG（Dicing Before Grinding＝先ダイシング）やストレスリリーフ機（DFP8140）とのインラインシステムも可能です。
定評あるグラインダ仕様を踏襲
世界中で実績のあるDFG800シリーズの後継機です。800シリーズと同様の基本仕様/性能を維持しながらも装置重量を1.2ｔ（DFG850比28％削減）の軽量化を実現しました。
研削加工点変更による信頼性の向上
1軸と2軸の研削ポイントを一致させた為、2軸の研削性が安定しました。これにより面内平坦度、ウェーハ間平坦度が向上し、薄残し研削時の品質が安定します。
従来機との互換性を維持
砥石、ドレッサーボード、スピンドル、チャックテーブルは従来機800シリーズとの互換性があるため、DFG8540でも使用可能です。
イージーオペレーション
タッチパネルとGUI (Graphical User Interface）を搭載し、操作性を向上しました。加工状況、各種ステータスをビジュアル表示し、アイコン化されたボタンをタッチするだけで、簡単に操作が行なえます。これにより稼働時はもちろんメンテナンスにも高い操作性を発揮します。
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 研削可能ウェーハ径 | - | Φ8 inch ユニバーサルチャック使用時：Φ4, 5, 6, 8 inch |
|
| 研削方式 | - | ワーク回転によるインフィード方式 | |
| 使用ホイール | - | Φ200 mm ダイヤモンドホイール | |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 4.2 | 回転数範囲 | min‐1 | 1,000 ～ 7,000 |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,200 × 2,670 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約3,100 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |
| DAG810 | DFG8340 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 |
| オートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 2 | 2 | 4 | 3 |
| 1 | 2 | 3 | 3 | 5 | 4 |
| 600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
| 1,300 | 2,500 | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 6,700 |
DFG8540Fully Automatic In-Feed Surface Grinder
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