DFG8830Fully Automatic Grinder
硬脆材料の薄化研削向けグラインダ
- Φ150 mmウェーハ対応
- 4軸5チャックテーブル
硬脆材料の研削加工に対応
サファイアやSiCなど硬脆材料の研削加工に適したグラインダです。高剛性・高出力スピンドルを搭載し大口径研削ホイールに対応することで、加工負荷の高い硬脆材料の全自動研削を実現します。
4軸5チャックテーブル構造
スピンドル軸を4軸構造とし、5チャックテーブル/1ターンテーブル方式を採用することで、さまざまな研削アプリケーションを実現します。4つの軸に最適な研削ホイールを搭載することによる生産性重視アプリケーションや、より低ダメージで高品質な仕上げをターゲットとしたアプリケーションなど、多様な加工ニーズに対応いたします。
支持基板付きワークの加工
ガラスやセラミックスなどの支持基板（サブストレート）に貼付されたワークにも対応。Φ5～8インチの支持基板サイズ、トータル3.5 mmの厚みまで投入可能です。
省フットプリント
スピンドル軸や搬送部レイアウトの最適化により、コンパクトサイズを追求。4軸5チャックテーブルながら設置面積3.5 m2と、省フットプリントを実現しています。
イージーオペレーション
タッチパネルとGUI (Graphical User Interface）の搭載で、加工状況などをビジュアル表示することができ、アイコン化されたボタンをタッチするだけの快適な操作性を提供。また、同時に4つのカセットを搭載可能とし、オペレータのカセット交換頻度を削減するなど、装置オペレーションの負担を低減します。
ワークフローシステム
- ロボットピックがカセットからワークを引き出し、ポジションテーブルでセンタリング後、
- 搬送アームでチャックテーブルへ
- Z1軸研削
- Z2軸研削
- Z3軸研削
- Z4軸研削
- 搬送アームがワークをチャックテーブルからスピンナテーブルへ→
- 洗浄→乾燥→
- ロボットピックがワークをカセットに格納
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 研削可能ウェーハ径 | - | Φ4, 5, 6 inch | |
| 搬送可能サブストレート径 | - | Φ5, 6, 8 inch | |
| 研削方式 | - | ワーク回転によるインフィード方式 | |
| 使用砥石 | - | Φ300 mm ダイヤモンドホイール | |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 6.3 |
| 回転数範囲 | min‐1 | 1,000 ～ 4,000 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,400 × 2,500 × 2,000 | |
| 装置質量 | kg | 約6,000 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |
| DAG810 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8560 | DFG8640 | DGP8761 |
| オートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 3 |
| 1 | 2 | 3 | 3 | 3 | 4 |
| 600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
| 1,300 | 2,500 | 3,100 | 4,000 | 3,500 | 6,700 |
DFG8830Fully Automatic Grinder
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