DFG8541Fully Automatic Grinder
加工品質とユーザビリティを強化した、多様な素材向けグラインダ
- Φ200 mmウェーハ対応
- 2軸3チャックテーブル
- 薄化
Φ8インチ対応、スタンダードモデルの次世代機
Φ8インチ以下のウェーハ研削ニーズに対応する、2軸研削のスタンダードモデルDFG8540の次世代機です。SiだけでなくSiCなど硬度の高い難研削材料の薄化にも対応します。
さまざまな素材を高品質に加工
高トルクスピンドルをオプション化することでより多様な素材への加工対応力を高めるとともに、厚みばらつきに影響するウェーハ形状調整、ウェーハ搬送・洗浄など各種機構の改良により、高品質加工を実現します。
高品質加工のための各種機構
電動微調軸により、画面上で高精度なウェーハ形状調整ができる他、カメラを利用した非接触センタリング機能によるウェーハ接触の低減、二流体洗浄の採用による高洗浄性を実現しています。
ユーザビリティの向上
新GUI・制御システムの搭載により直感的な画面操作を可能にしました。また、同一カセット内ウェーハの枚葉レシピ選択、テープ貼付状態の異常検知、ウェーハ斜め入れや空スロットの検知など、ユーザビリティを高める機能を追加しています。
省スペース、省エネ
レイアウトの最適化とバキュームユニット内蔵によりフットプリントを従来機比15%削減、また新エアスピンドルの採用によりエア消費量を50%削減しています。
ワークフローシステム
- ロボットがカセットからワークを引き出す
- ポジショニングテーブルでセンタリング
- アーム1でチャックテーブルへ
- Z1 / Z2スピンドルで研削
- アーム2でワークをスピンナテーブルへ
- ワークを洗浄後、乾燥
- ロボットがワークをカセットに収納
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 研削可能ウェーハ径 | - |
Φ8 inch ユニバーサルチャック使用時：Φ4, 5, 6, 8 inch |
|
| 研削方式 | - | ワーク回転によるインフィード方式 | |
| 使用ホイール | - | Φ200 mm ダイヤモンドホイール | |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 4.2 | 回転数範囲 | min‐1 | 1,000 ～ 7,000 |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,100 × 2,800 × 1,800 | |
| 装置質量 | kg | 約3,000 | |
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |
| DAG810 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 |
| オートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 4 | 3 |
| 1 | 2 | 3 | 3 | 3 | 5 | 4 |
| 600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
| 1,300 | 2,500 | 3,100 | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 6,700 |
DFG8541Fully Automatic Grinder
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