DAG810Automatic Surface Grinder
新たな加工ニーズに応えるマニュアル研削装置
- Φ200 mmウェーハ対応
- 1軸1チャックテーブル
シンプル・コンパクトな１軸グラインダ
1スピンドル、1チャックテーブルのシンプルかつコンパクトなグラインダです。Φ8インチワークまで研削可能です。
省スペース設計
装置サイズは600（W）×1,700（D）×1,780（H） mm。設置面積わずか1.02 m2の小型化を実現しました。
より精密な研削結果を実現する機構・方式
高剛性・低振動スピンドルの採用により良好な研削加工結果を実現します。研削方式はインフィード研削、クリープフィード研削（特殊仕様）に対応します。
シリコンウェーハ以外の素材にも幅広く対応
硬脆材料の加工評価および電子部品の製品加工にも有効です。
イージーオペレーション
タッチパネルとGUI (Graphical User Interface）を搭載し、操作性を向上。加工状況、各種ステータスをビジュアル表示し、アイコン化されたボタンをタッチするだけで、簡単に操作がおこなえます。
様々な加工ニーズに対応
- ハイトゲージ
1プローブ/2プローブに対応可能（オプション） - インフィード研削
最大Φ300 mmまで拡張可能（オプション） - フレーム研削
Φ8インチフレームに対応可能（オプション） - クリープフィード研削
最大Φ200 mmまで拡張可能（特殊仕様）
精密加工分野に対応するアプリケーション例
- シリコン、化合物半導体の研削評価
- CSP／WL-CSPの樹脂研削、Cuポスト出し
- LT／LN等の平坦度向上
- 生セラミックス、サファイア等の加工
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 研削可能ウェーハ径 | - | Φ8 inch ユニバーサルチャック使用時：Φ4, 5, 6, 8 inch |
|
| 研削方式 | - | ワーク回転によるインフィード方式 | |
| 使用ホイール | - | Φ200 mm ダイヤモンドホイール | |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 4.2 |
| 定格トルク | N・m | 5.9 | |
| 回転数範囲 | min‐1 | 1,000 ～ 7,000 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 600 × 1,700 × 1,780 | |
| 装置質量 | kg | 約1,300 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |
| DFG8340 | DFG8540 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 |
| フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 4 | 3 |
| 2 | 3 | 3 | 3 | 5 | 4 |
| 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,400 × 3,190 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
| 2,500 | 3,100 | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 6,700 |
DAG810Automatic Surface Grinder
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