本機台是有著單主軸,單工作盤(Chuck Table),結構簡單緊湊的研磨機。最大可加工到直徑8吋的工作物。
機台尺寸為600(W)×1,700(D)×1,780(H)mm。實現了占地面積僅為1.02 m2的小型化設計。
透過採用高剛性,低振動的主軸實現了更好的研磨加工結果。研磨方式可對應軸向進給(In-Feed)研磨,深進緩給(Creep-Feed)研磨(特殊規格)。
可有效對應硬脆材料的加工評估及電子元件的產品加工。
配置了觸摸式液晶顯示器及GUI (Graphical User Interface),提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設備狀態,操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。
Specification | Unit | ||
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Supported workpiece size | - | Φ8 inch (Φ4, 5, 6, 8 inch with universal chuck table use) |
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Grinding Method | - | Anomalous In-feed grinding with wafer rotation | |
Grinding Wheels | - | Φ200 mm Diamond Wheel | |
Spindle | Rated output | kW | 4.2 |
Rated torque | N・m | 5.9 | |
Rotation speed range | min‐1 | 1,000 ~ 7,000 | |
Equipment dimensions (W × D × H) | mm | 600 × 1,700 × 1,780 | |
Equipment weight | kg | Approx.1,300 |
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※機器的使用條件,請先確認標准規格書。