大口徑,小晶粒晶粒在加工時,由於工作物與切削水之間長時間接觸,接線頭有時會被腐蝕。在切削水中添加StayClean-F, 能夠在工作物的表面形成極薄的保護層,有效地防止接線頭腐蝕。
只使用純水
使用StayClean-F時
現有離心清洗無法完全除淨的微粒,也可通過在切削水中添加StayClean-F, 促使其脫離工作物表面,防止微粒污染。
只使用純水
使用StayClean-F時
StayClean-F不含有任何RoHS物質及PFOS等限制類化學物質,可在正常切割條件※下使用。同時,即使稀釋到數千分之一,甚至為防止腐蝕而稀釋到數萬分之一,仍然可以有效地發揮防污效果,實現低成本運行。
※需循環使用時,請向迪思科銷售部分咨詢。
即使添加StayClean-F 、也能夠保持通常使用純水時的加工結果。
Workpiece | Si wafer |
Blade | NBC-ZH |
Spindle rpm | 40,000 (min-1) |
Feed speed | 60 mm/s |
使用專門開發的StayClean注入器,可以保證低濃度切削水的安定供給。
Specification | StayClean-F | StayClean Injector | |
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Solution appearance | - | Transparent colorless and light yellow liquid | |
Main ingredient | - | Nonionic surfactant + water solube polymer macromolecule | |
pH(undiluted) | pH | 4.7 ± 0.5 | |
Density(15℃) | g/cm3 | 1.04 ± 0.02 | |
Residue/decomposition | mg/L | COD 32(JIS K0102-17) | |
(when diluted 1000 times) | mg/L | BOD 2.5(JIS K0102-21) | |
Recommended dilution | times | 1,000 - 10,000(0.1 - 0.01%) | |
Power supply , voltage | V | AC90-230 Single Phase 50/60 Hz | |
Supply water temperature | deg C | 20 - 25 | |
Supply water pressure | MPa | 0.2 - 0.5 | |
Process flow rate | L/min | 2 - 20 | |
Additive injection rate | % | 0.1 - 0.01(1,000 - 100 ppm) | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | Injector 200 × 300 × 500 excluding projections Bottle stocker 357 × 392 × 440 excluding projections |
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Machine weight | kg | Injector Approximately.22(Dry mass) Bottle stocker Approximately.10(Dry mass) |
注意事項 【使用前】
注意事項 【使用時】
注意事項 【保管時】