解決方案
高亮度LED的應用範圍開始逐漸擴展,除行動電話之外,還可用於液晶電視的背光源,汽車前照燈,照明設備等,預計將出現中長期的市場擴大。對於高亮度LED所採用的藍寶石,原有的主流加工方法是使用鑽石劃片機等進行裂片。但是,隨著市場的擴大,對提高生產率,成品合格率的需求高漲,雷射加工快速普及,在高亮度LED用藍寶石加工中逐漸成為主流製程。
此次,將為您介紹使用迪思科公司的雷射切割機進行的藍寶石加工。
在利用原有的鑽石劃片機進行裂片時,被指出存在如下問題:
雷射加工包括燒蝕加工和隱形切割加工這兩種方法。
在藍寶石加工中使用雷射切割機具有各種優點,例如,與原有加工方法相比,可維持同等的亮度,但生產率,成品合格率提高,操作成本降低等。
對於要求高亮度的高附加價值設備,最適合採用亮度基本不會降低的隱形切割加工。通過內部加工進行割斷,可實現切割道的狹小化,並有望增加晶片製造個數。此外,即便是厚基板,分割晶片時也可以抑制亮度降低。
在藍寶石加工中使用鑽石劃片機或雷射切割機時,各加工方法的優點,缺點如下表所示。
Photo 1. 燒蝕加工
Photo 2.隱形切割加工
DFL7160
適用於燒蝕加工的裝置
適用於Φ300 mm晶圓
全自動雷射切割機
DFL7341
適用於隱形切割加工的裝置
適用於Φ200 mm晶圓
全自動雷射切割機
DFL7362
適用於隱形切割加工的裝置
適用於Φ300 mm晶圓
全自動雷射切割機