DFD6240Fully Automatic Dicing Saw

世界最小级的单轴全自动切割机

Φ200 mm
单主轴

考虑到生产现场需求的设计

通过追求框架结构和搬运单元布局的优化，虽然是全自动机器，但是实现了手动机（本公司DAD3350）的占地面积（本公司DFD641相比减少了约20％）。而且还减少了电力和空气消耗，机器的设计顾及到运行成本和环保。除此此外，搭载了更容易掌握加工状态和各种信息的状态监视功能(Condition Monitor) ，有助于日常检查和流程管理。

提高加工品质

通过采用为增强径向刚性而新开发的同步主轴™，提高了加工品质的稳定性。并且，标准配置了可在触摸式液晶显示器上直接输入切割水流量的监控功能，可提供稳定的加工结果。另外，为了有效地防止切割过程中的微粒粘附现象，可搭载特殊选配的切割部位水气二流体喷射机构，以及在清洗加工物时可高效发挥清洗效果的离心清洗部位的水气二流体清洗机构。

提高操作性能

为了提高更换切割刀片时的操作效率，在该设备上采用了切割刀架罩自动开合机构和主轴锁定机构，可以从设备的前方进行更换刀片。并且搭载了LCD触摸屏和GUI,更有效于操作的简便性。

提高生产效率

通过提高每个轴的移动速度来提高生产效率。

主轴阵容

标准配置为高刚性的1.2 kW主轴。除此之外，还可选择采用center thrust结构，进一步提高刚性的1.8 kW主轴（使用2英寸切割刀片，选配）和2.2 kW主轴（使用3英寸切割刀片，选配），适用于加工玻璃，陶瓷等加工负载较高的材料。

加工物流程系统

下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内

Specifications

Specification		Unit	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
Max. workpiece size		-	Φ8 inch
X-axis	Cutting range	mm	210
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 600
Y-axis	Cutting range	mm	210
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.003/210 (Single error) Within 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	19.22 (For Φ2 inch blade)	19.9 (For Φ3 inch blade)
	Moving resolution	mm	0.00005
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N・m	0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW）	0.7
Spindle	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	900 × 1,190 × 1,800
Equipment weight		kg	Approx. 1,200

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。

Product Lineup



Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions（W × D × H）
Machine weight（kg）


DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动
2	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800