DFD6340Fully Automatic Dicing Saw

双主轴切割机的标准机型

采用对向式双主轴结构以及通过缩短刀片主轴的间距，在进行阶梯式/斜角式切割加工时，最大可提高30%的生产效率，而在双刀切割加工时，最大可提高40%的生产效率（本公司DFD651相比）。

采用新型门式结构以及减少圆晶搬运部占有空间，与本公司的全自动切割机DFD651相比，节省了17%的占地面积。

使用最新的节能技术，以往机型相比，压缩空气消耗量最大可减少24％，电力消耗量最大可减少33%。

通过采用增强主轴径向刚性的同步主轴™，提高了加工质量的稳定性。另外，可搭载对圆晶有更好清洗效果的特殊选配水气双流体离心清洗机构。

在Z1轴与Z2轴上同时搭载了NCS（Non-Contact Setup 非接触式测高功能），减少了切割的中断时间。

※ 选配

两主轴上各自搭载了高倍显微镜，大幅度地缩短了加工中检查切痕的时间。

※ 选配

可根据产品参数(Device Data)设定切割水流量，并且在加工中可监视流量，时常实现稳定的流量管理。

通过搭载15英寸LCD触摸屏及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。加工状况，设备的各种状态均可在控制画面上同步显示，只需触摸控制画面上的按钮，就可以简单地完成操作。此外还安装了观察台，可以在全自动操作时，取出/观察切割后的晶圆。

Specification		Unit	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
Max. workpiece size		-	Φ8 inch
X-axis	Cutting range	mm	210
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 600
Y1･Y2-axis	Cutting range	mm	210
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	19.22 (For Φ2 inch blade)	19.9 (For Φ3 inch blade)
	Moving resolution	mm	0.00005
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N・m	0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW）	0.7
Spindle	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	1,180 × 1,110 × 1,850
Equipment weight		kg	Approx. 1,600

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。