DFD6341Fully Automatic Dicing Saw

导入了有实效的产能提高对策，提高了全自动双主轴设备的生产效率。

Φ200 mm
对向式双主轴

提高生产效率

DFD6341是适用于Φ8英寸的最新全自动双主轴切割机，导入了开发于Φ300 mm的DFD6362设备的提高生产效率的技术。采用独特的主轴机构，X轴的返回速度提高到1,000 mm / s。并且，提高了各轴的加减速性能，扩大了最高速度时的移动范围，大幅度地提高了生产效率。除此之外，通过优化零部件提高主要搬运部的速度，通过缩短主轴之间的距离来减少双轴切割的加工时间。

节省空间的设计

与以往机型DFD6340相比，占地面积缩小约3%。无需增大占地面积便可同时内置变压器、UPS（紧急供电装置）、CO2 Injector 和升压泵。

操作简便

采用了以往机型中因操作简便而备受好评GUI（Graphical User Interface），与LCD触摸屏的组合使用，实现了便捷操作。

高速闪光校准（选配）

氙气闪光灯和高速快门CCD的组合，可以实现无需停止工作台，便可在高速移动的同时进行校准。减少校准时间，提高生产效率。

加工物流程系统

下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物送回晶圆盒内

Specifications

Specification		Unit	1.2、1.8 kW、High speed rotation	2.2 kW
Max. workpiece size		-	Φ8 inch
X-axis	Cutting range	mm	210
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1･Y2-axis	Cutting range	mm	210
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	19.22 (For Φ2 inch blade)	19.9（For Φ3 inch blade）
	Moving resolution	mm	0.00005
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N・m	0.19（1.2 kW/High speed rotation） 0.29（1.8 kW）	0.7
Spindle	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High speed rotation）	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	1,180 × 1,080 × 1,820
Equipment weight		kg	Approx. 1,500

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。

Product Lineup



Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions（W × D × H）
Machine weight（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800