DAD3361Automatic Dicing Saw

具有高扩展性，可以满足各种加工需求

DAD3361是对应直径300 mm加工物^※的半自动切割机。标准搭载1.8 kW高功率主轴。选用高转矩・高刚性的2.2 kW主轴（选配）、可对应从硅到陶瓷等难切割材料的加工。可选用最大对应5英寸刀片的特殊规格。除此以外，还可选配一张胶膜框架上粘贴多片加工物的校准功能。

※ 可特殊搭载外接圆直径395 mm之内的治具工作台

采用高刚性门型结构以及有效地抑制热伸缩和振动的主轴前端支撑结构，提供更稳定的加工点。并且，搭载了主轴温度传感器的温度监测功能。

X，Y，Z全轴采用伺服马达，不仅提高了轴速，而且达到了最优化的控制参数。因此，和以往机种相比缩短了最大约2%的加工时间。

新型非接触式测高功能（Non-Contact Setup/ 选配），对工作台的刀片测高时间缩短了74％。因为提高了测量精度，使加工品质更加稳定。除此之外，显微镜环形照明的开灯方向可以切换3种模式，提高了切痕检测的识别率。可对应SECS/GEM通信系统。

可将多片封装基板粘贴在1个胶膜框架上进行加工（最多可对应16片）。

对于树脂基板等会产生不规则伸缩的材质，通过多点校准，可实现高精度的加工。

Specification		Unit	1.8 kW	2.2 kW (Optional *)	2.2 kW High torque (optional)
Max. workpiece size		-	Φ300 mm (280 mm × 280 mm user-specified specification)
X-axis	Cutting range	mm	310
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y-axis	Cutting range	mm	310
	Index step	mm	0.0001
	Index positioning accuracy	mm	0.002/310 (Single error) 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	31.2	31.4
	Moving resolution	mm	0.0000002 (0.2 nm)
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	320 Θ-axis rotation specification (optional)
Spindle	Rated output	kW	1.8 at 60,000 min^-1	2.2 at 30,000 min^-1	2.2 at 15,000 min^-1
	Rated torque	N・m	0.29	0.7	1.4
	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000	3,000 ～ 15,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	880 × 1,000 × 1,800
Equipment weight		kg	Approx. 1,100

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。