DFD6450Fully Automatic Dicing Saw

并列式双主轴全自动切割机

Φ200 mm
并列式双主轴
Package Singulation

迪思科公司特有的并列式双主轴结构

DFD6450是2主轴平行设置的并列式双主轴全自动切割机。即传承了以往机型（DFD651）的基本加工理念，又是具有良好的操作性，高质量加工的 DFD6000系列的新机型。适用于硅以及化合物半导体等半导体元器件，陶瓷等电子元器件，玻璃等光学零部件的切割/开槽等各种工艺的加工。并列式双主轴结构是迪思科公司特有的技术，因为采用了后部主轴支撑，所以主轴前部预留的空间较大，便于切割刀片的更换以及维护保养。另外，还适用于封装基板的多刀切割加工等特殊的应用领域。

提高操作便利性

通过搭载15英寸LCD触摸屏及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。为了提高更换切割刀片时的操作效率，采用了自动主轴锁定机构。除此之外，搭载了切割水流量监视功能，可以按照不同的加工参数，分别设定切割水的流量。

主轴阵容

可以根据圆晶和加工应用的需要，从多个主轴中选择最适合的主轴。

【标准主轴】
1.0 kW空气主轴
（适用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.16 N･m）
【选用主轴】
1.0 kW高扭矩空气主轴
（适用于2英寸切割刀片，扭矩: 0.24 N･m）
2.2 kW空气主轴
（适用于3英寸切割刀片，扭矩: 0.7 N･m）

充实的选配项目

在维持与以往机型相同占地面积的前提下，通过改进设备的布局，实现内置变压器，UPS（紧急供电装置）、CO₂ Injector和升压泵。另外也可以选择在清洗加工物时可高效发挥清洗效果的离心清洗部位水气二流体清洗机构，以及防止搬运晶圆时产生静电的负离子发生器（ionizer）。

加工物流程系统

下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
下取物手臂将加工物送回晶圆盒内

Specifications

Specification		Unit	1.0 kW	2.2 kW
Max. workpiece size		-	Φ8 inch
X-axis	Cutting range	mm	250
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 600
Y1-axis	Cutting range	mm	250
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.003/250 (Single error) Within 0.002/5
Y2-axis	Cutting range	mm	30
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.002/30
Z-axis	Max. stroke	mm	35.2
	Moving resolution	mm	0.00005
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated output	kW	1.0	2.2
	Rated torque	N・m	0.16, 0.24 (higher torque)	0.7
	Rotation speed range	min^-1	6,000 ～ 60,000､ 3,000 ～ 40,000 (higher torque)	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	1,120 x 1,500 x 1,600
Equipment weight		kg	Approx. 1,400

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。

Product Lineup



Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions（W × D × H）
Machine weight（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动	全自动
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,640	1,500	2,200	2,800