DFD6363Fully Automatic Dicing Saw

出色的工艺扩展性，对应Φ300 mm的旗舰机型

一台装置即可对应全切/半切等多样化工艺，既可减少零部件更换的作业时间，又可有效地抑制零部件更换时可能发生的人为失误。而且，可同时对应标准晶圆储料盒(Φ200 mm/Φ300 mm)，和FOUP晶圆储料盒。

※ 选配

自动检测刀片寿命，自动进行从更换刀片到重新开始切割等一系列的操作,实现最少的停机时间。而且还能有效地防止加工物变更时的刀片品种安装错误。同时提高了可追踪性。

※ 选配

通过搭载19英寸显示器及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。此外，通过功能改良后的NCS(Non-Contact Setup)提高生产率，以及通过搭载独自开发的1.8 kW主轴（60,000 min^-1）有望提高加工稳定性。

※ 选配

（框架搬送规格时）

Specification		Unit	1.8 kW, High-speed rotation	2.2 kW
Max. workpiece size		mm	Φ300
X-axis	Cutting range	mm	310
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1･Y2-axis	Cutting range	mm	310
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	14.7 (For Φ2 inch blade)	14.9 (For Φ3 inch blade)
	Moving resolution	mm	0.0000002
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N・m	0.29(1.8 kW) 0.19(High-speed rotation)	0.7
Spindle	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.8 kW） 20,000 ～ 80,000(High-speed rotation)	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	1,200 × 1,550 × 1,800
Equipment weight		kg	Approx. 1,800

※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。