DFD6450Fully Automatic Dicing Saw

パラレルデュアル構造のフルオートマチックダイシングソー

Φ200 mmウェーハ対応
パラレルデュアルスピンドル
パッケージシンギュレーション

ディスコ独自のパラレルデュアルスピンドル構造

DFD6450は2本のスピンドルが平行に配置されたパラレルデュアル構造のフルオートマチックダイシングソーです。従来機（DFD651）の基本コンセプトを継承し、操作性・高品位加工に優れるDFD6000シリーズにラインナップしました。Siや化合物半導体などのデバイス、セラミックスなどの電子部品、ガラス材などの光部品の切断・溝入れ加工などさまざまなアプリケーションに対応します。ディスコの独自技術であるパラレルデュアル構造では、スピンドルを装置後方で支持しているため、装置前面からのアクセスに制約がなく、ブレード交換やメンテナンスが容易におこなえます。また、マルチブレードによるパッケージシンギュレーションなど特殊なアプリケーションにも対応が可能です。

作業性の向上

15型LCDタッチパネルを搭載し、GUI (Graphical User Interface）により優れた操作性とイージーオペレーションを実現しました。また、ブレード交換時の作業性を向上させるため、スピンドル軸を自動で固定するシャフトロック機構を搭載しています。さらに切削水流量コントローラの搭載で、デバイスデータごとに切削水量の設定が可能になりました。

スピンドルラインナップ

対象ワークやそのアプリケーションにより複数のスピンドルから選択が可能です。

標準スピンドル
1.0 kWエアースピンドル
（2インチブレード対応，トルク：0.16 N･m）
オプションスピンドル
1.0 kWトルクアップエアースピンドル
（2インチブレード対応，トルク：0.24 N･m）
2.2 kWエアースピンドル
（3インチブレード対応，トルク：0.7 N･m）

充実したオプション類

装置本体は、従来機と同等のフットプリントながら、装置レイアウトを見直すことにより、トランス・UPS・CO₂インジェクタ・昇圧ポンプのユニット類を装置に内蔵することが可能になりました。また、ワーク洗浄において高い洗浄効果を発揮するスピンナ部二流体洗浄機構や、ワーク搬送時の帯電防止のためのイオナイザ仕様も選択可能です。

ワークフローシステム

ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリング後、チャックテーブルへ → 切削 →
アッパーアームがワークをチャックテーブルからスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.0 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		-	Φ8 inch
X軸	切削可能範囲	mm	250
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 600
Y1軸	切削可能範囲	mm	250
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.003以内/250 （単一誤差）0.002以内/5
Y2軸	切削可能範囲	mm	30
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/30
Z軸	最大ストローク	mm	35.2
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格出力	kW	1.0	2.2
	定格トルク	N・m	0.16, 0.24（トルクアップ）	0.7
	回転数範囲	min^-1	6,000 ～ 60,000､ 3,000 ～ 40,000（トルクアップ）	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,120 x 1,500 x 1,600
装置質量		kg	約1,400

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,640	1,500	2,200	2,800