DAD3361Automatic Dicing Saw

高い拡張性を備え、多様な加工ニーズに対応

Φ300 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

幅広いアプリケーションに対応

DAD3361はΦ300 mmワーク^※に対応するセミオートマチックダイシングソーです。高出力1.8 kWスピンドルを標準搭載。また、高トルク・高剛性の2.2 kWスピンドル（オプション）を選択することで、シリコンからセラミックスなどの難削材加工も可能となります。特殊仕様により、最大Φ5インチブレードまで対応可能です。さらに、1枚のテープフレームにワークを複数貼った状態に対応するアライメント機能もオプションにて搭載可能です。

※ 外接円Φ395 mm以内のジグテーブルを特殊搭載可能

安定した加工品質

高剛性門型構造を採用し、熱伸縮や振動抑制に有利なスピンドル前方部支持構造とすることで、より安定した加工点を提供します。また、スピンドル温度センサによる温度監視機能を搭載しています。

加工時間の短縮

X、Y、Z全軸へのサーボモーター採用による軸速度の向上や、制御パラメータの最適化を図ったことで従来機比で最大約2%の加工時間の短縮を実現しました。

機能・操作性の向上

新型非接触セットアップ（Non-Contact Setup/オプション）の搭載により、加工テーブルに対するブレード高さ測定時間を約74％短縮し、測定精度も向上しています。また、顕微鏡部にCMOSデジタルカメラを採用し、リング照明点灯方向を3チャンネル切り替え可能にすることで、カーフチェック時の視認性が向上しました。SECS/GEMにも対応しています（オプション）。

イージーオペレーション

XIS (Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約
ウェーハマッピング
フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示
ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化
ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート

高メンテナンス性

X、Y、Z各軸の防塵性能を強化
セラミックなど、コンタミが軸部にダメージを与えやすい素材に対し効果を発揮

多枚貼り対応

複数のパッケージ基板を1枚のテープフレームに貼り付けて加工することが出来ます（最大16枚まで対応）。

測長アライメント

樹脂基板など、不規則な伸縮が生じた素材に対し、複数点でのアライメントを行うことにより、高精度な加工が可能です。

仕様

仕様		単位	1.8 kW	2.2 kW（オプション）	2.2 kW トルクアップタイプ（オプション）
最大ワークサイズ		-	Φ300 mm（280 mm角の特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	31.2	31.4
	移動分解能	mm	0.0000002 (0.2 nm)
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320 θ軸380°回転仕様 (OP)：382.5
スピンドル	定格出力	kW	1.8 at 60,000 min^-1	2.2 at 30,000 min^-1	2.2 at 15,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.29	0.7	1.4
	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000	3,000 ～ 15,000
装置寸法（W × D × H）		mm	880 × 1,000 × 1,800
装置質量		kg	約1,100

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	600	1,040	1,500	1,550