DFD6341Fully Automatic Dicing Saw

実績のあるスループット向上策を導入し、フルオートデュアル機の生産性を向上

Φ200 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル

生産性の向上

DFD6341は、Φ300 mm対応機DFD6362で培ったスループット向上技術を取り入れた最新のΦ8インチ対応フルオートデュアルダイシングソーです。独自開発した軸機構の採用によりX軸の戻り速度を1,000 mm/sまで向上しました。さらに各軸の加減速性能を向上したことで、最高速での移動範囲が広がり、大幅にスループットが向上します。また、パーツの最適化により主要搬送部を高速化している上、スピンドル間距離の短縮により、デュアルカット時の加工時間を短縮できます。

省スペース設計

フットプリントは従来機のDFD6340より約3 %縮小。フットプリントを広げることなく、トランス、UPS（停電対策装置）、CO2インジェクタ、昇圧ポンプを同時に内蔵することができます。

イージーオペレーション

従来機でも使いやすさで定評のあるGUI （Graphical User Interface）を採用しています。LCDタッチパネルと組み合わせることで快適な操作を実現しました。

高速フラッシュアライメント（オプション）

キセノンフラッシュランプと高速シャッターCCDとの組み合わせで、チャックテーブルを静止させることなく、高速移動させながらアライメントが可能です。アライメント時間の削減で、スループットを向上します。

ワークフローシステム

ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリング後、チャックテーブルへ → 切削 →
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.2、1.8 kW、高速回転	2.2 kW
最大ワークサイズ		-	Φ8 inch
X軸	切削可能範囲	mm	210
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	210
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/210 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	19.22（Φ2 inchブレード使用時）	19.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.19（1.2 kW/高速回転） 0.29（1.8 kW）	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（高速回転）	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,180 × 1,080 × 1,820
装置質量		kg	約1,500

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800