ZH14 SERIESElectroformed Bond Hub Blades
高剛性の新開発V1ボンドの採用により、
高負荷な条件下での安定加工を実現
- 電鋳ボンド
加工対象：シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハ（GaAs、GaPなど）、酸化物ウェーハ（LiTaO3など）、他
ZH14シリーズはブレード剛性の向上により、高速・深切り・長い刃先出しでの加工などの高負荷な条件下でも切れ曲がりなく安定した加工を実現しました。また、狭ストリート加工や高い回転数において、破損速度※の向上や蛇行発生の抑制が期待できます。
※ 加工速度を上げていったときにブレードが破損する速度
- 高負荷条件下での破損・蛇行の低減
- 長い刃先出しが求められるバンプ付きウェーハ加工
- 高い回転数での加工品質向上
実験データ
加工品質比較
ZH14シリーズは従来品に比べて、切れ曲がりや蛇行なく加工できていることが分かります。
※ 本評価は、意図的に薄く刃先出しが長いブレードを作製し、加工不良が発生しやすい条件下で行っています。
| Workpiece | Si (thickness: 2 mm) |
| Depth | 1 mm |
| Feed speed | 110 mm/s |
| Spindle revolution | 30,000 min-1 |
| Blade | SD2000-**-50 |
| Kerf | 25 µm |
| Exposure | 1.28 mm |
破損速度比較データ
加工速度を上昇させブレードが破損する速度を測定するテストにおいて、 ZH14シリーズは従来品と比べて破損速度が約20%アップしています。
| Workpiece | Φ8” Si |
| Depth | 725 μm (full cut) |
| Blade | SD3500-**-70 ED |
| Spindle revolution | 35,000 min-1 |
仕様
ZH14 SERIESElectroformed Bond Hub Blades
お問い合わせ
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
ご注文に際して
タイプ名・各寸法及び数量をお知らせください。また、新規ご注文の場合は弊社営業担当員が選定のお手伝いをさせていただきます。研削材料・寸法・形状・使用機械（装置）その他諸条件を詳しくお知らせください。
※仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがありますので、ご確認の上ご発注くださいますようお願い申し上げます。
安全にご使用いただくために
ブレード、ホイール（以下、精密加工ツール）の破損による事故やケガを未然に防止するために以下の事項を必ずお守りください。
- 安全カバー（ノズルケース、カバー）を使用してください。
- 制限回転数表示のある精密加工ツールは指定の回転数を超えて使用しないでください。
- 精密加工ツールを装着する際は機械（装置）の取扱説明書に従って正しく装着してください。
- 精密加工ツールを落としたり、ぶつけたりしないでください。
- 使用する際には必ず毎回精密加工ツールを確認して、欠けやその他破損がある場合は使用を中止してください。
- ご使用の機械（装置）の取扱説明書をよく読んでからご使用ください。
- 改造された機械（装置）は使用しないでください。
- 機械（装置）指定サイズに合わない精密加工ツールは使用しないでください。
- 切断・研削以外の目的には使用しないでください。
- 湿式切断の精密加工ツールは冷却液をご使用ください。