加工対象:PZT、LiTaO3、セラミックス、シリコンウェーハ、他
Z09シリーズは、特に高品位な加工が求められる細かい粒径のアプリケーションに適した電鋳ボンドブレードです。5段階の集中度ラインナップにより、品質とライフのバランスの取れたブレードの選択が可能です。また、新開発の高強度ボンドの採用により、真直性の高い加工や加工速度の向上が期待できます。
集中度※は、ダイシング加工において消耗量(ライフ)に影響し、その集中度を高精度に制御することで、消耗量と品質をより安定化させることが可能です。
※ 集中度とは、ブレードに含まれているダイヤモンド砥粒の割合を示す値です。
例えば集中度100とは、体積の25%を砥粒が占めている状態です。
従来のNBC-Zブレードでは難しい深溝加工でも、Z09シリーズでは真直性の高い加工が可能です。
Workpiece | PZT |
Blade | NBC-ZB 1060-V 52 x 0.03 x 40 Z09-SD1700-Y1-30 52 x 0.03A1 x 40-V |
Blade exposure | 1.3 mm |
Speed | 4 mm/s |
Spindle revolution | 30,000 min-1 |
Depth | Half Cut (1 mm depth) |
Z09シリーズは、セラミックスの加工においても、従来のNBC-Zブレードでは実現できなかった速度での加工が可能です。
Workpiece | Alumina ceramics 96% |
Work size | 70 x 60 x 0.28 mmt |
Blade | NBC-ZB 1060-V 52 x 0.03 x 40 Z09-SD1700-Y1-30 52 x 0.03A1 x 40-V |
Blade exposure | 1.3 mm |
Spindle revolution | 20,000 min-1 |
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