加工対象:酸化物ウェーハ(LiTaO3など)、他
酸化物ウェーハ加工に最適な摩耗性能を持つボンドを採用。これまで連続加工が困難であった酸化物ウェーハ切断を安定かつ高品位で連続加工することを可能にしました。また、リチウムタンタレイトウェーハのDBGプロセス加工においても、より安定した加工結果が期待できます。
Workpiece | LiTaO3 Φ4” x 350 µmt |
Depth | 350 µm (full cut) |
Blade | ZHFX-SD2000-C1-50 DF NBC-ZH105L 27HEDF |
カット方向
LiTaO3ウェーハ加工中の電流値を測定。ZHFXシリーズは、ライン数が増加しても電流値の上昇が見られないことから、加工の安定性が確認できます。
Workpiece | LiTaO3 Φ4” x 350 µmt |
Depth | 150 µm (full cut) |
Blade | ZHFX-SD1700-C1-50 DF NBC-ZH106L 27HEDF |
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ご注文に際して
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※仕様は改良のため、お断りなく変更させていただくことがありますので、ご確認の上ご発注くださいますようお願い申し上げます。
安全にご使用いただくために
ブレード、ホイール(以下、精密加工ツール)の破損による事故やケガを未然に防止するために以下の事項を必ずお守りください。