加工対象:シリコンウェーハ、他
60 µmを越える比較的厚いブレードでは、加工ライン数の増加に伴いブレード先端の中央部が消耗する場合があります。この先端形状の崩れは、カーフ広がり・突発チッピングなどの品質劣化を招きます。ZHCRシリーズでは、独自の技術により特殊なブレード構造にすることで、先端形状の崩れを抑制し、品質劣化のない安定した加工プロセスを実現します。これによりブレードライフの向上も期待できます。ZHCRシリーズは、以下のような先端形状の崩れが発生しやすい加工で真価を発揮します。
ブレード先端の中央部だけが消耗しやすい加工において、ZHCRは正常な形状を維持する特性があります。
加工が進むと通常品はブレード中央部が凹み、加工溝が異常になっているのに対し、ZHCRは正常な状態を保っていることが分かります。
Blade | ZHCR-SD2000-N1-50BD FN NBC-ZH205F-SE 27HEFN |
厚いブレードが先端形状の崩れを起こし、品質劣化に至るまでのイメージです。ZHCRシリーズでは、正常な形状を維持する特性をもっています。
※ 先端形状の崩れが引き起こす品質劣化は様々で、カーフの広がり・突発チッピング・ステップカット2軸ブレードの曲がりや破損などがあります。
厚いブレードでは、中央部の切り粉は排出しづらくなる
中央部に残った切り粉は、ブレードの中央部を徐々に削っていく
加工を増すと、中央部が極端に削り取られて、異常な形状になる
細くなった外側部は、加工負荷に耐えられなくなり、欠け落ち、チッピングなどの異常※を発生させる
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安全にご使用いただくために
ブレード、ホイール(以下、精密加工ツール)の破損による事故やケガを未然に防止するために以下の事項を必ずお守りください。