加工对象: Si3N4, Crystal, Sapphire, etc
采用了至今难于制作薄型刀片的陶瓷结合剂。因为结合剂的高刚性,高切削能力,所以在高负荷加工时,也可以保证加工物的垂直度和尺寸精度,从而实现对难切削材料的高品质加工。此外,由于结合剂种类增加,实现了包括硅晶圆修边加工在内的各领域的加工。
结合剂名称 | 主要用途 | |
---|---|---|
VT07 | VC100 | 高负荷、难切削材料加工用(蓝宝石、水晶、深槽加工等) |
VC200 | 修边加工用(硅) |
在加工高硬度的蓝宝石时,与以往的刀片相比,能夠实现更高的加工品质。
Workpiece | Sapphire 0.7 mmt |
Blade | VT07-SD400-VC100-150 G1A851 SDC240R13B01 |
Spindle revolution | 15,000 min-1 |
Size | 56 x 0.3 x 40 mm |
利用VT07系列(VC200结合剂)切割刀片进行修边加工后,晶圆边缘的加工品质和用树脂结合剂刀片加工后的效果相同。
Workpiece | Si |
Blade | VT07-SD2000-VC200-100 B1A801 SD2000N100M42 P1A862 SD1200N100BR16 |
Blade size | 58 x 1 x 40 mm |
Feed rate | 5 degree/s |
Depth | 0.5 mm into Si wafer |
Spindle revolution | Vitrified bond 20,000 min-1 Resin/Metal bond 30,000 min-1 |
基于陶瓷结合剂的特性,在使用时请注意如下事项。
*具体细节请向本公司销售部门咨询。
外径(mm) | VT07最大转速(min-1) |
---|---|
50.0-63.4 | 20,000 |
63.5-88.3 | 13,000 |
88.4-117.0 | 10,000 |
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