加工對象: Si3N4, Crystal, Sapphire, etc
採用了至今難以製造薄型刀片的陶瓷結合劑。因為結合劑的高剛性、高切割能力,使得在高負荷加工下可進行高真直性,高精度的加工,實現對不易切割材料的高品質加工。此外,由於結合劑種類增加,實現了矽晶圓修邊加工等各種領域的加工。
結合劑名稱 | 主要用途 | |
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VT07 | VC100 | 高負荷・不易切割材料加工用(藍寶石・水晶・深溝加工等) |
VC200 | 修邊加工用(矽) |
和以往加工高硬度藍寶石的刀片相較,能夠實現更高的加工品質。
Workpiece | Sapphire 0.7 mmt |
Blade | VT07-SD400-VC100-150 G1A851 SDC240R13B01 |
Spindle revolution | 15,000 min-1 |
Size | 56 x 0.3 x 40 mm |
利用VT07系列(VC200結合劑)進行修邊加工後,晶圓邊緣的加工品質和以樹脂結合劑刀片加工後的效果相同。
Workpiece | Si |
Blade | VT07-SD2000-VC200-100 B1A801 SD2000N100M42 P1A862 SD1200N100BR16 |
Blade size | 58 x 1 x 40 mm |
Feed rate | 5 degree/s |
Depth | 0.5 mm into Si wafer |
Spindle revolution | Vitrified bond 20,000 min-1 Resin/Metal bond 30,000 min-1 |
基於陶瓷結合劑的特性,在使用時請注意如下事項。
※詳情請洽詢司業務人員。
VT07转速 | |
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外径(mm) | 最大轉數(min-1) |
50.0-63.4 | 20,000 |
63.5-88.3 | 13,000 |
88.4-117.0 | 10,000 |
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