DFD6340Fully Automatic Dicing Saw

雙主軸切割機的標準機型

透過採用對向式雙主軸的結構及將刀片軸之間的距離縮短，使得生產效率提高在Step Cut/V型加工時最大約30%，在Dual Cut時最大約40%。(與本公司的DFD651相比)

透過採用門型結構以及節省了晶圓搬運部的空間，使得本機台的佔地面積減少了17%。(與本公司的DFD651相比)

透過搭載最新機能，使機台可減少最多33%的電力，與最多24%的高壓氣體使用量。

採用為了提高主軸徑向剛性的同步主軸™，提高了加工品質的穩定性。另外，也可透過選配搭載在洗淨工作物時可以發揮高度洗淨效果的Spinner部二流體洗淨機構。

在Z1、Z2軸上同時搭載了NCS (非接觸式測高機能)，可實現切割中斷時間的縮短。

※ 選配

透過在雙主軸分別搭載高倍顯微鏡，使得加工中的刀痕檢測時間大幅度地縮短。

※ 選配

可透過型號參數(Device Data)設定切割水流量。另外，在加工中可監視流量，可達成經常性地穩定流量管理。

透過搭載15吋LCD觸控螢幕及GUI(Graphical User Interface)，提高了操作簡易性。透過將加工狀況，各種狀態視覺化地顯示，只要按下圖示化的按鍵即可簡單地操作。另外搭載了檢測台，使得取出、觀察在全自動作業中，切割過後的晶圓成為可能。

Specification		Unit	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
Max. workpiece size		-	Φ8 inch
X-axis	Cutting range	mm	210
X-axis	Cutting speed	mm/s	0.1 ～ 600
Y1･Y2-axis	Cutting range	mm	210
	Index step	mm	0.0001
	Positioning accuracy	mm	Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5
Z-axis	Max. stroke	mm	19.22 (For Φ2 inch blade)	19.9 (For Φ3 inch blade)
	Moving resolution	mm	0.00005
	Repeatability accuracy	mm	0.001
θ-axis	Max. rotating angle	deg	380
Spindle	Rated torque	N・m	0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW）	0.7
Spindle	Rotation speed range	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
Equipment dimensions(W×D×H)		mm	1,180 × 1,110 × 1,850
Equipment weight		kg	Approx. 1,600

※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良，本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。