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DFD6340Fully Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

デュアルダイシングソーのスタンダードモデル

Φ200 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル
DBG
パッケージシンギュレーション

スループット30～40％向上

フェイシングデュアルスピンドル構造の採用とブレード軸間距離の短縮化により、最大でステップカット／ベベルカット時約30％、デュアルカット時約40％スループットが向上しました（当社DFD651比）。

フットプリント17％縮小

門型構造の採用とワーク搬送部の省スペース化により、フットプリントを17％縮小しました（当社DFD651比）。

電力・エアー消費を削減

新機能の搭載で、電力消費量最大33％、エアー消費量最大24％を削減しました。

加工品質の安定性

スピンドル軸のラジアル剛性を向上させたシンクロスピンドル™を採用することにより、加工品質の安定性を向上しました。また、ワーク洗浄に高い洗浄効果を発揮するスピンナ部二流体洗浄機構がオプションにて搭載可能です。

ダブルNCSによる高速セットアップ

NCS（Non-Contact Setup）^※をZ1、Z2各軸に搭載し、カッティング中断時間の短縮化が図れます。

※ オプション

ダブル顕微鏡^※による高速カーフチェック

高倍率顕微鏡（ミクロ）を両軸それぞれに搭載することで、カット中のカーフチェック時間を大幅に低減しました。

※ オプション

切削水の安定供給

デバイスデータで切削水の流量設定が可能です。また、加工中に流量をモニタし、常に安定した流量管理ができます。

イージーオペレーション

可動式LCDタッチパネルとGUI (Graphical User Interface）を搭載し、操作性を向上しました。加工状況、各種ステータスをビジュアル表示し、アイコン化されたボタンをタッチするだけで、簡単に操作がおこなえます。また、観察ステージの搭載により、全自動オペレーション中のダイシング後ウェーハ取り出し・観察が可能になりました。

ワークフローシステム

ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリング後、チャックテーブルへ →切削 →
アッパーアームがワークをチャックテーブルからスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		-	Φ8 inch
X軸	切削可能範囲	mm	210
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 600
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	210
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/210 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	19.22（Φ2 inchブレード使用時）	19.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW）	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,180 × 1,110 × 1,850
装置質量		kg	約1,600

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800