全切/半切等,只需一台機台即可對應多種加工模式,也藉此減少零件更換所需要的作業時間,即有效地抑制零件更換時所發生的人為失誤。另外,標準切割用晶舟盒(Φ200 mm/Φ300 mm)、FOUP晶舟盒等皆能對應。
※選配
能夠自動檢測刀片壽命,從刀片更換開始到重新開始切割完全自動化,最小化了停機時間。此外還能有效防止加工不同工作物時,安裝錯刀片的狀況,並同時提高了可追蹤性。
※選配
本機台裝有19吋螢幕與容易辨識的GUI (Graphical User Interface)以提高使用性,並透過多軸同步控制以達到軸動作的最佳化,進而縮短加工時間。藉由新型NCS(Non-Contact Setup)的搭載,提高生産效率,再配合獨家開發之1.8 kW 主軸(60,000 min-1)、實現穩定加工之需求。
※選配
(鐵圈搬送模式時)
Specification | Unit | 1.8 kW, High-speed rotation | 2.2 kW | |
---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | ||
Y1・Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Index step | mm | 0.0001 | ||
Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 |
||
Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
Moving resolution | mm | 0.0000002 | ||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
Spindle | Rated torque | N・m | 0.29(1.8 kW) 0.19(High-speed rotation) |
0.7 |
Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000(1.8 kW) 20,000 ~ 80,000(High-speed rotation) |
3,000 ~ 30,000 | |
Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
Equipment weight | kg | Approx. 1,800 |
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良,本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |