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DFD6363Fully Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

高いプロセス拡張性・Φ300 mm対応フラッグシップモデル

Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル
DBG

フレーム搬送仕様およびTwo-way(フレーム/ウェーハ）搬送仕様^※に対応

フルカット/ハーフカットなど、本機1台で多様なプロセスに対応可能で、段取り替え工数の削減、段取り替えミス防止にも貢献します。また、標準カセット(Φ200 mm/Φ300 mm)、FOUP カセットの双方に対応します。

※ オプション

オートブレードチェンジャー^※(ABC)

ブレードライフエンドを自動検知してブレード交換から加工復帰までを完全自動化し、装置ダウンタイムを最小化します。さらに加工ワークの変更に伴うブレード交換時の品種間違いの防止や、トレーサビリティの向上にも効果的です。

※ オプション

基本性能の向上

19 インチモニタを採用、視認性の高いGUI (Graphical User Interface)によりユーザビリティーを向上。また、多軸同期制御による軸動作の最適化を図り、加工時間短縮に貢献します。さらに、機能を高めたNCS(Non-Contact Setup) ^※による生産性向上や、独自開発の1.8 kW スピンドル（60,000 min^-1）の搭載による加工安定性の向上が期待できます。

※ オプション

ワークフローシステム

（フレーム搬送仕様の場合）

ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリングを行った後、チャックテーブルへ → 切削 →
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.8 kW, 高速回転	2.2 kW
最大ワークサイズ		mm	Φ300
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	14.7（Φ2 inchブレード使用時）	14.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.0000002
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.29(1.8 kW) 0.19(高速回転)	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.8 kW） 20,000 ～ 80,000(高速回転)	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,200 × 1,550 × 1,800
装置質量		kg	約1,800

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800