DAD3351Automatic Dicing Saw
具備高度擴充性，可滿足多種加工需求
- Φ200 mm
- 單主軸
可對應廣泛的産品運用
DAD3351是最大可對應到直徑8吋工作物的半自動切割機。標準搭載有1.8 kW高功率主軸。透過選擇高扭力・高剛性的2.2 kW主軸（選配）、也可對應從矽晶圓到陶瓷等不意切割材料的加工。透過特殊規格可使用最大直徑5吋的刀片進行加工，進而可以對應厚度在10 mm以上的工作物。而且，還可透過選配搭載對一片鐵框內有複數工作物進行校準的機能。
穩定的加工品質
透過採用高剛性門型構造，並使用有利於熱伸縮、震動抑制的主軸前端支撐構造，可提供更穩定的加工點。另外，也搭載了搭配主軸溫度Sensor的溫度監視機能。
加工時間縮短
藉由透過X、Y、Z軸全面採用伺服馬達進而提高軸速度，以及使控制參數的最佳化，使本機台與以往機台相比實現了縮短了最大約5%的加工時間。
機能‧操作便利性的提高
透過搭載新型非接觸式測高（Non-Contact Setup/選配），對工作盤的刀片高度量測時間最大約可減少74%，也提高了量測精度。另外，顯微鏡採用CMOS數位相機使得環狀燈源照射方向可有3種切換模式，進而提高了刀痕檢測時的辨識率。本機台也對應SECS/GEM通訊規格(選配)
方便的操作
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中於顯微鏡畫面 - Wafer Mapping
與全自動機型相同，以圖形顯示切割的進度狀態 - Log Viewer
以圖表表示類比數據，並可視化切割參數 - Help Viewer
異常發生時顯示對應措施，幫助迅速且確實地恢復機台狀態
高度的維護便利性
- 加強了X、Y和Z軸的防塵性能
對陶瓷、金屬汙染等容易損傷軸的材料可發揮效果。
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Option) | 2.2 kW (Option) (High torque) |
|
|---|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch (250 mm × 250 mm user-specified specification) | |||
| X-axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | |||
| Y-axis | Cutting range | mm | 260 | ||
| Index step | mm | 0.0001 | |||
| Index positioning accuracy | mm | 0.002/260 (Single error) 0.002/5 |
|||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ-axis rotation specification (optional)：382.5 |
||
| Spindle | Rated Output | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 | |
| Rated torque | N・m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
| Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | 3,000 ～ 15,000 | |
| Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
| Equipment weight | kg | Approx.1,100 | |||
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良，本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DAD324 | DAD3221 | DAD3231 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3361 | DAD3431 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 420 | 420 | 550 | 550 | 1,200 | 1,100 | 600 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |