透過縮短主軸間的距離提高了Dual Cut加工的速度,此外還透過軸機構的改良,提高了X軸加工時的返回速度,更透過採用部品的最佳化,提高了主要搬送部的速度。經由以上改良結果,在相同條件下,較以往機型提高了7%的生產效率。
對加工處附近的水流進行分析後,在機台上新增了可有效防止微粒附著的Wheel Cover。此外,也能選擇符合工作物特性的工作盤水簾,或是切割部二流體Nozzle等選配機能。
會全自動進行因更換晶圓、刀片壽命終止、刀片破損等情況發生時所需的刀片更換、預切割等相關作業,減輕操作員作業上的負擔。還可在約60秒內完成兩軸刀片的更換,大幅減少機台的停機時間。此外,由於機台會先掃描刀片背面記有刀片種類等訊息的二維條碼後才會進行刀片更換,因此能夠防止如裝錯刀片等的人為疏失。
*選配
藉由在與顯微鏡影像同一個畫面上新設操作按鈕,實現了教讀等作業便利性的提高。另外,藉由機台狀態的圖像化,可以更清楚顯示機台的稼動狀況。
Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW, High-speed rotation | 2.2 kW | |
---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | ||
Y1・Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Index step | mm | 0.0001 | ||
Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 |
||
Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
Spindle | Rated torque | N・m | 0.19(1.2 kW/High-speed rotation) 0.29(1.8 kW) |
0.7 |
Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000(1.2 kW/1.8 kW) 20,000 ~ 80,000(High-speed rotation) |
3,000 ~ 30,000 | |
Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
Equipment weight | kg | Approx. 2,050 |
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良,本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |