透過選擇特殊的鐵框(Dicing Frame)或JIG Table,可對應以Fan-out WLP為首,大型化封裝基板的切割需求。
可對置於一個鐵框內的複數封裝基板進行加工。藉此可實現因縮短工作物交換的時間而帶來的生產效率提高,以及減少切割膠帶(Dicing Tape)的使用量。
透過使用雙主軸同時切割的Dual Cut模式,實現與以往機型 (單主軸・DAD3350 直徑300 mm特殊對應機)相比,最大可提昇90%的生產效率。
透過選擇Sub Chuck Table規格,可在加工過程中對切割刀片進行Dress(顆粒裸露),最大可對應到一片邊長75mm的方形磨刀板。對於切割過程容易使刀片切割能力下降,例如玻璃基板等硬脆材質或樹脂和有延展性的金屬等材料,可有穩定的加工品質。
對於樹脂基板等會產生不規則伸縮的材質,透過複數的點進行校準,可實現高精度的加工。
透過搭載高扭力,高剛性的2.2 kW主軸,可以對應例如玻璃和陶瓷等堅硬易碎的材料,或是厚的工作物、使用厚刀片開槽等高負荷加工。
可將以往只能放置於機台外部的輔助設備(UPS、海外用變壓器、CO2 Injector、升壓Pump)內藏於機台內,使空間的利用效率化。
Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW(option) | |
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Max. workpiece size | - | Φ300 mm (360 mm × 360 mm user-specified specification) | ||
X-axis | Cutting range | mm | 400 | |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | ||
Y-axis | Cutting range | mm | 400 | |
Index step | mm | 0.0001 | ||
Index positioning accuracy | mm | 0.002/400 (Single error) 0.002/5 |
||
Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2 | 31.4 |
Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 | |
Spindle | Rated torque | N・m | 0.29 | 0.70 |
Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000 | 3,000 ~ 30,000 | |
Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,350 × 1,200 × 1,890 | ||
Equipment weight | kg | Approx. 1,500 |
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良,本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |