DFD6760Fully Automatic Dicing Saw
對應直徑300mm切割機的高端機型
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
搭載Dual Chuck Table(工作盤)的全自動切割機
DFD6760是以以往機型(DFD6362)為基礎，進一步提高生產效率的高端機型。透過搭載了兩個工作盤(以下稱C/T)，使一個C/T在加工中時，另一個C/T可同時進行搬送、校準等作業，因而縮短了主軸的加工待機時間，提高了生產效率。此外，當一個C/T進行切割時，另一個C/T進行加工後工作物的圖像記錄，或利用NSD※進行工作物厚度量測等，可在維持生產效率的同時進行檢查和量測。而且和以往機型一樣，透過提高X， Y， Z軸的返回速度，縮短了加工時間。
※ Non-contact Surface Detector （非接觸式晶圓高度量測器/選配）
維持生產效率的同時提高薄晶圓的加工品質
當薄晶圓執行Step Cut時，控制從晶圓表面切入的深度非常重要。利用控制切入深度時所使用的NSD，可執行對晶圓表面高度的高精度量測。雖然NSD量測約需費時10秒，但由於DFD6760在其中一個C/T進行加工的同時執行NSD量測，因此不會對產能造成影響。
豐富的微粒對策
依照工作物的特性，可選配DFD6362中備受好評的切割部二流體Nozzle或Wheel Cover，以及工作盤水簾等規格。
對建構可追溯性之需求的對應
DFD6760因為有2個C/T，其中一個C/T進行切割作業時，另一個C/T可同時保存加工後工作物上的刀痕圖像，並記錄加工品質。近年來，生產現場被要求確保可追溯性，萬一產品發生了缺陷時，也可以確認和證明切割時的品質。
操作簡易
採用了在DFD6362中也備受好評的GUI(Graphical User Interface)，配合LCD觸控螢幕實現了簡易的操作。
加工記錄閱覽機能「Dicer Image Viewer」
與以往機型的加工流程比較
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 |
||
| MY1･MY2-axis | Index step | mm | 0.0001 | |
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 |
||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW/High-speed rotation） 0.29（1.8 kW） |
0.7 |
| Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High-speed rotation) |
3,000 ～ 30,000 | |
| Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,900 × 1,800 | ||
| Equipment weight | kg | Approx. 2,750 | ||
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良，本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6342 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,800 | 1,510 × 1,554 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 1,240 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 |